[发明专利]基板搬送装置、曝光装置、基板支持装置及元件制造方法

说明书

一种基板搬送装置(7)，是将载置于基板支持构件(T)的基板(P)与该基板支持构件一起搬送，其特征在于具备：使载置有前述基板的前述基板支持构件振动的加振部(V)；保持前述加振部使振动的前述基板支持构件并移动的搬送部(4)。

本申请是基于2009年10月28日提出申请的美国临时申请第61/272745号主张优先权并将其内容在此引用。

技术领域

本发明是关于一种基板搬送装置、曝光装置、基板支持装置、及元件制造方法。

背景技术

在平板显示器等的电子元件的工艺中，使用曝光装置或检查装置等大型基板的处理装置。在使用此等处理装置的曝光步骤、检查步骤，使用将大型基板(例如玻璃基板)搬送至处理装置的下述专利文献所揭示的搬送装置。

专利文献1：日本特开2001-100169号公报。

发明内容

然而，在上述的大型基板的搬送装置，在将搬出入部所保持的基板交接至基板支持装置时，基板与基板支持装置分别受到支持。因此，依基板的支持方法会有使基板因本身重量而向下方弯曲的情形。若将因本身重量而呈弯曲状态的基板交接至基板支持装置，则基板的向下方弯曲的部分会与基板支持装置接触，由于接触部分的摩擦，在基板支持装置上基板会维持弯曲状态。

例如在曝光装置，若将呈如上述变形状态的基板交接至曝光用的基板保持具，则会产生无法在基板上的适当位置进行既定曝光等的曝光不良的问题。又，在载置于基板支持装置的基板产生弯曲的情形，为了解决上述情形而重新进行交接，因此会产生基板的处理延迟的问题。

本发明的形态的目的在于提供一种可解决在基板交接时产生的基板的弯曲的基板搬送装置、曝光装置、基板支持装置、及元件制造方法。

依本发明第1形态，提供一种基板搬送装置，是将载置于基板支持构件的基板与该基板支持构件一起搬送，其特征在于具备：使载置有前述基板的前述基板支持构件振动的加振部；保持前述加振部使振动的前述基板支持构件并移动的搬送部。

依本发明第2形态，提供一种曝光装置，对基板保持具保持的基板照射曝光用光而使前述基板曝光，其特征在于：具备对前述基板保持具搬送前述基板的上述的基板搬送装置。

依本发明第3形态，提供一种基板支持装置，支持基板，其特征在于具有：载置前述基板的载置部；设于前述载置部且使前述载置部振动的振动产生部。

依本发明第4形态，提供一种元件制造方法，包含：使用上述的曝光装置使该基板曝光的动作；以及基于曝光结果处理曝光后的前述基板的动作。

根据本发明的形态，可解决在基板交接时产生的基板的弯曲。

附图说明

图1显示曝光装置的整体概略的剖面俯视图。

图2搬送机器手的外观立体图。

图3用以说明搬送机器手的动作的立体图。

图4显示搬出入部的概略构成的侧视图。

图5显示托盘的平面构造的俯视图。

图6显示托盘收容于基板保持具的槽部的状态的部分侧剖面图。

图7A显示第1实施形态的拖盘及搬送手的概略构成的剖面图。

图7B显示第1实施形态的拖盘及搬送手的概略构成的剖面图。

图8A显示第1实施形态的拖盘及搬出入部的概略构成的剖面图。

图8B显示第1实施形态的拖盘及搬出入部的概略构成的剖面图。

图9是以颜色的浓淡显示基板的弯曲的俯视图。