[发明专利]用于气相沉积的淋喷头

权利要求书

1.一种用于气相沉积室的淋喷头组件，包括：

主体，其包括上部分和下部分；

中央通道，其延伸穿过所述主体的所述上部分和所述下部分，在所述主体的内表面之间，并且平行于延伸穿过所述主体的中心轴线；

扩散板，其包括第一多个孔并且被布置在所述中央通道内；

上管板，其包括第二多个孔并且在所述扩散板下方布置在所述中央通道内；

下管板，其包括第三多个孔并且在所述上管板下方布置在所述中央通道内；以及

多个管，其从所述上管板延伸至所述下管板，其中每个管被耦合于来自所述第二多个孔的分别的孔和来自所述第三多个孔的分别的孔，并且与该来自所述第二多个孔的分别的孔和所述来自该第三多个孔的分别的孔流体连通。

2.根据权利要求1所述的淋喷头组件，其中所述主体的所述上部分和所述下部分每个独立地包括至少一种选自由钢、不锈钢、300系列不锈钢、铁、镍、铬、钼、铝、其合金及其组合组成的组的材料。

3.根据权利要求2所述的淋喷头组件，其中所述主体的所述上部分和所述下部分每个独立地包括不锈钢或其合金。

4.根据权利要求1所述的淋喷头组件，还包括被布置在所述主体的所述上部分上的气体入口。

5.根据权利要求4所述的淋喷头组件，还包括被布置在所述主体的所述上部分的上表面上的板，并且所述气体入口被布置在所述板上。

6.根据权利要求5所述的淋喷头组件，其中所述板包括选自由钢、不锈钢、300系列不锈钢、铁、镍、铬、钼、铝、其合金及其组合组成的组的材料。

7.根据权利要求5所述的淋喷头组件，其中所述板包括延伸穿过所述板的入口孔。

8.根据权利要求7所述的淋喷头组件，其中所述气体入口包括延伸穿过所述入口孔的入口管，并且喷嘴被耦合于所述入口管的一端并且被布置在所述板上方。

9.根据权利要求1所述的淋喷头组件，其中所述主体的所述上部分的上表面包括围绕所述中央通道的凹槽，并且所述凹槽包括O形环。

10.根据权利要求1所述的淋喷头组件，其中所述扩散板被布置到在所述中央通道内从所述主体的侧表面突出的突出部分上。

11.根据权利要求1所述的淋喷头组件，其中所述多个管包括约500个管至约1,500个管。

12.根据权利要求11所述的淋喷头组件，其中所述多个管包括约800个管至约1,000个管。

13.根据权利要求1所述的淋喷头组件，其中每个管具有在约0.5cm至约2cm的范围内的长度。

14.根据权利要求13所述的淋喷头组件，其中所述长度在约0.8cm至约1.2cm的范围内。

15.根据权利要求1所述的淋喷头组件，其中每个管包括在约0.005英寸至约0.05英寸的范围内的直径。

16.根据权利要求15所述的淋喷头组件，其中所述直径在约0.01英寸至约0.03英寸的范围内。

17.根据权利要求1所述的淋喷头组件，其中所述管是皮下注射针。

18.根据权利要求1所述的淋喷头组件，其中所述管包括选自由钢、不锈钢、300系列不锈钢、铁、镍、铬、钼、铝、其合金及其组合组成的组的材料。

19.根据权利要求18所述的淋喷头组件，其中所述主体的所述上部分和所述下部分每个独立地包括不锈钢或其合金。

20.根据权利要求1所述的淋喷头组件，其中所述第一多个孔中的每个孔具有比所述第二多个孔中的每个孔或所述第三多个孔中的每个孔大的直径。

21.根据权利要求1所述的淋喷头组件，其中所述第二多个孔中的每个孔具有与所述第三多个孔中的每个孔相同的直径或实质上相同的直径。

22.根据权利要求1所述的淋喷头组件，其中所述扩散板包括选自由钢、不锈钢、300系列不锈钢、铁、镍、铬、钼、铝、其合金及其组合组成的组的材料。