[发明专利]处理排出液的方法与设备

说明书

技术领域

本发明大体关于处理排出液的方法及设备。

背景技术

在诸如半导体、显示器、太阳能、或发光二极管(LED)制造过程中产生的排出液需要在被排放至环境中之前进行处理。典型的排出液可包括过全氟化碳、氮氧化物等。典型的排出液处理可包括使用燃料(例如，甲烷、丙烷等)来燃烧及(或)热处理排出液。不幸地，用于燃烧的燃料(例如碳氢化合物燃料)可能会危害安全，而可导致火灾或爆炸。再者，碳氢化合物燃料可能由于燃烧所得的副产物(例如氧化碳(CO)、二氧化碳(CO₂)等)而非所欲地增加碳足迹(carbon foot print)。此外，在一些进行这些制造过程的区域中，提供、储存、及传递所需燃料以用于排出液处理的相关基础架构花费可能相当昂贵。

因此，在此领域中需要用于处理排出液的提高方法及设备。

发明内容

本文提供在处理系统中用于处理排出液的方法与设备。在一些实施例中，一种用于处理排出液的系统包括：处理腔室，其具有处理空间；排放导管，其连接至该处理腔室以从该处理空间移除排出液；及反应物种产生器，其连接至该排放导管以将反应物种注入该排放导管中来处理该排出液，其中该反应物种产生器产生包含下列至少一者的反应物种：单态氢(singlet hydrogen)、氢离子、或氢自由基。

在一些实施例中，一种处理排出液的方法，包含以下步骤：从处理系统的处理空间经由与该处理空间流体耦合的排放导管使排出液流动；在该排放导管中通过反应物种来处理该排出液，该反应物种包含下列至少一者：单态氢、氢离子或氢自由基；以及将经处理的排出液流动至减弱系统。

上述简要说明不欲限制本发明。在下文的实施方式中讨论其它及进一步的多个实施例。

附图说明

所以，上述简介的本发明的特征可参考对本发明更具体描述的实施例进一步理解和叙述，部分实施例示出于附图中。然而要指出的是，附图仅说明本发明的典型实施例，因此不应被视为其范围的限制，本发明亦适用于其它具有同等功效的实施例。

图1示出根据本发明一些实施例的处理系统的示意图。

图2A-E示出根据本发明一些实施例的排放导管的多种态样。

图3示出根据本发明一些实施例的用于处理排出液的方法的流程图。

为了使其容易了解，已尽可能指定使用相同的组件符号来代表各图中的相同组件。为清晰起见已简化且未按比例绘制附图。可预期一个实施例中的组件与/或处理步骤可有益于结合在其它实施例中，而无需多加说明。

具体实施方式

本文揭示用于一种在处理系统中处理排出液的方法及设备。本发明的方法及设备有利地提高减弱效率并降低碳足迹(carbon foot print)。

本发明实施例关于使用氢气(或原位，例如局部，产生的氢气)来协助处理排出液、全氟化碳、及三氟化氮(NF₃)的减弱。已非预期的发现单态氢(H)及(或)氢自由基的存在对于催化排放排出物、全氟化碳(PFC)及三氟化氮的热分解是有效的，且较传统氧化反应更为有效并在较低的熔炉温度。相对于一般预期的结果，在AMAT R&D设施中获得验证，其中低化学计量的氢气添加至PFC减弱装置中而展现了意外高的PFC或其它需要减弱的物种的破坏去除移除效率(DRE)。

因此，发明人提出了将等离子体氢气注射入口用于减弱装置，使得能量化的单态氢与氢自由基与传入的排出液混合以实现期望的破坏移除/转换效率。将能量化自由基及单态氢的流提供并混合至含有物种的排出液流的方法随着在泵前(pre-pump)(提供前泵DRE)、在泵处(at the pump)、或泵后(post-pump)而有所不同。

例如，在一些实施例中，可在同心环管(annual)(例如，导管)内传输道的管腔中提供排出液，且经由外传输道引入能量化试剂。在下游立即发生混合。在一些实施例中，同心环管可经由内传输道的管腔引入能量化试剂，并经由外传输道引入排出液。在下游立即发生混合。在一些实施例中，可以正切方向或成角将试剂注入排出液中以促进混合。在一些实施例中，可以正切方向或成角将排出液注入试剂中以促进于混合。在这些实例中，多个同心环管的相对长度是可改变的。在一些情况中，内环管可比外环管短或长以提供最佳的减弱效能并使沉积物或该传输道的腐蚀减到最少。