[实用新型]用于转移硅片的工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能电池的制作工具，尤其涉及一种用于转移硅片的工具。

背景技术

太阳能电池是一种将光能直接转化为电能的器件，其基本原理是利用PN结的光生伏特效应将光能转化成电能，由于其清洁、无污染，取之不尽，用之不竭，逐渐成为一种重要的发电方式，近年来备受瞩目。其中，晶体硅太阳能电池占有绝大部分的份额。

目前，在晶体硅太阳能电池的生产过程中，用于制作PN结的扩散制结工序是关键工序之一。该工序要求严格的工艺卫生，需要一种专用的工具来转移硅片，以避免人手直接接触硅片，从而保证硅片的洁净度，减少硅片表面少子复合，增强了太阳能电池转换效率的稳定性。

另一方面，现有的晶体硅太阳能电池扩散工艺均采用水平卧式扩散炉，扩散炉内配有水平卧式石英舟承载硅片，生产时需要人工向石英舟槽内插入硅片。为了保证扩散环境的洁净度，在进行扩散插片作业时，人员需佩戴无尘手套进行操作，同时需要使用轻巧、方便、少污染的硅片转移工具；而硅片出炉后温度较高，又要求该工具能耐较高的温度而不变形。因此，现有的用于转移硅片的工具均采用石英材料制成。

现有的用于转移硅片的工具主要包括吸盘、中空的石英握管和中空真空管，所述中空真空管设于吸盘和石英握管之间，中空真空管的一端与吸盘连通，另一端与石英握管连通；石英握管的顶部还设有抽真空接管；石英握管的外壁设有抽真空开关。所述抽真空开关通常是一个开孔。工作时，先将抽真空接管与抽真空设备（如真空泵）连接，启动抽真空，用手握持石英握管，食指按住抽真空开关的开孔，将吸盘轻轻放在硅片边缘，吸起硅片，将硅片插于石英舟槽内，然后最后松开食指，完成硅片转移动作。

然而，在实际应用中发现，由于抽真空开关的开孔较大（一般为13平方毫米），当工人用食指按住抽真空开关的开孔时，手上的无尘手套会被局部吸进石英握管内，在石英握管内形成1个大气泡，从而造成操作中断，影响连续生产。

发明内容

本实用新型目的是提供一种适于实用的用于转移硅片的工具。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于转移硅片的工具，包括吸盘、中空的石英握管和中空真空管，所述中空真空管的一端与吸盘连通，另一端与石英握管连通；所述石英握管的管壁上设有抽真空开关，所述抽真空开关包括至少2个开孔，各开孔的面积小于等于1平方毫米，开孔的总面积为0.2~9平方毫米。

上文中，将抽真空开关设置成至少2个开孔，形成匀溜口型抽真空开关，使吸力均匀分散，防止无尘手套被吸入石英握管内。

所述石英握管一般为普通的石英管，其管径一般大于所述中空真空管的管径，以便于握持。

进一步的技术方案，所述开孔为9个，构成3×3点阵结构，设于石英握管的管壁上，各个开孔的面积均为0.5平方毫米。

上述技术方案中，所述开孔为圆孔。当然也可以是其他规则图形（如三角形）或其它不规则图形。

上述技术方案中，所述石英握管的外表面设有防滑结构。该防滑结构可以是磨砂结构或凹凸结构等，便于手握持同时也可以起到防滑的作用。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：

1、本实用新型将抽真空开关设置成多个开孔，形成匀溜口型抽真空开关，使吸力均匀分散，并限定了开孔的面积，从而可以防止无尘手套被吸入石英握管内，保证了该工具可以连续使用，不会影响连续生产；

2、本实用新型在石英握管的外表面设有防滑结构，便于工人用手握持，同时也可以起到防滑的作用；

3、本实用新型结构简单，便于制备，且具有良好的可操作性、实用性，适于推广应用。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的结构示意图；

图2是图1的A部放大图。

其中：1、吸盘；2、石英握管；3、中空真空管；4、开孔。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一

参见图1~2所示，一种用于转移硅片的工具，包括吸盘1、中空的石英握管2和中空真空管3，所述中空真空管的一端与吸盘连通，另一端与石英握管连通；所述石英握管的管壁上设有抽真空开关，

所述抽真空开关包括9个开孔4，构成3×3点阵结构，设于石英握管的管壁上，各个开孔的面积均为0.5平方毫米。所述开孔为圆孔。所述石英握管的外表面设有防滑结构，防滑结构未画出。