[实用新型]基板对位装置、基板传送平台及系统有效
申请号: | 201020592163.0 | 申请日: | 2010-10-29 |
公开(公告)号: | CN201868406U | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 吴健 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/677 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 刘芳 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 对位 装置 传送 平台 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及基板传送设备,特别涉及一种基板对位装置、基板传送平台及系统。
背景技术
在液晶显示器的制造过程中,通常采用基板传送系统传递基板,例如,阵列基板、彩膜基板和液晶面板等。
图1为现有技术基板传送系统的侧视图,图2为现有技术基板传送系统的俯视图。如图1和图2所示,基板传送系统通常采用伺服电机11带动皮带,并通过皮带的传动力使得基板传送平台12在基板传送轨道13上运动。基板传送平台12用于承载基板,其包括平台支架以及设置在该平台支架上的基板对位装置,基板对位装置可以进行基板的夹持和定位。
图3为现有技术基板传送平台中的基板对位装置的结构示意图,如图3所示,该基板对位装置可以包括:安装支架15、气缸体16、滑块导轨17、活塞运动部件18、基板对位针19和滑动部件20。其中,安装支架15可以固设在平台支架,气缸体16固定在安装支架15上,两个活塞运动部件18设置在气缸体16中,其一端连接基板对位针19;且该两个活塞运动部件18之间是具有活塞间隙的。滑动部件20固接在活塞运动部件18的下底面,其可以和设置在气缸体16下部的滑块导轨17构成滑动连接,且可以随活塞运动部件18一起运动。其原理为,可以通过设置在气缸体16上的第一进气口21。向气缸体16内通入压缩空气,使得活塞运动部件18运动,从而带动连接在活塞运动部件18端部的基板对位针19运动,从而完成基板的对位操作。
该基板传送平台12可以带动基板依次经过位置1、位置2和位置3,并在上述位置处进行基板对位和相应的操作工序。在位置1、位置2和位置3处,基板传送平台12的下方设置有电气供应装置14,该电气供应装置14用于供给基板传送平台12工作所需的电力和压缩空气;并且,由于图3所示的基板对位装置的结构特点,在无气体驱动情况下,活塞运动部件18是能够自由活动的;这样在基板传送平台12的启动和停止过程中,基板会在惯性的作用下偏离原来的位置,导致对位异常,因此,要求电线和通气管路的铺设需要使得基板在整个传递过程中始终保持在通电通气状态。
但是,上述的现有技术所存在的技术缺陷是:布置的电线及通气管路较多,一方面,由于线路长度的自身限制,基板传送平台12的工作距离受到严重限制,即位置1、位置2和位置3之间的间距较短,影响基板传送平台12的有效使用寿命;另一方面,也使得该基板传送系统的制造成本较高;此外,在基板的传递过程中容易发生基板偏移。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种基板对位装置、基板传送平台及系统,以解决基板传递过程中所发生的传递距离短及基板偏移的问题,实现基板传送平台的长距离传送,降低设备成本,并且基板不会发生偏移。
本实用新型提供一种基板对位装置,该基板对位装置包括:
安装支架;气缸体,固定在所述安装支架上,所述气缸体上设置有第一进气口,且所述气缸体的下部设置有滑块导轨;活塞运动部件,一端设置在所述气缸体内,另一端连接基板对位针;滑动部件,固定连接在所述两个活塞运动部件的下底面,所述滑动部件的上表面与所述滑块导轨滑动连接;还包括:数个制动孔,设置在所述滑动部件的上表面,且位于所述活塞运动部件的侧边;制动装置,固定设置在所述制动孔的上方,所述制动装置中设置有制动插头,所述制动插头与所述制动孔相对。
如上所述的基板对位装置,所述制动装置包括活塞体,所述活塞体中设置有制动弹簧和制动插头,所述制动插头包括连接所述制动弹簧的第一端和用于插入所述制动孔的第二端,所述第一端形状与所述活塞体的截面形状相同,所述第二端与所述制动孔相对;所述活塞体上还设置有第二进气口。
如上所述的基板对位装置,所述活塞运动部件的数量为两个,所述两个活塞运动部件之间具有活塞间隙;所述数个制动孔设置在所述活塞间隙处。
如上所述的基板对位装置,所述制动装置固定设置在所述气缸体上。
如上所述的基板对位装置,所述安装支架上设置有活塞运动部件行程调节装置,所述活塞运动部件行程调节装置可调式连接于所述安装支架上。
如上所述的基板对位装置,所述滑动部件的与所述基板对位针相对的端部设置有滑动部件行程挡板;所述活塞运动部件行程调节装置的端部与所述滑动部件行程挡板相抵对。
如上所述的基板对位装置,所述第二进气口的数量为两个,且两个所述第二进气口分设于所述第一端的两侧。
本实用新型提供一种基板传送平台,该平台包括平台支架,所述平台支架上设置有本实用新型所提供的基板对位装置;所述基板对位装置中的安装支架固定在所述平台支架上。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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