[实用新型]一种超小型MEMS陀螺仪传感器在审
| 申请号： | 201020546278.6 | 申请日： | 2010-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN201828268U | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 邹波;华亚平;李莉 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01P9/04;B81B3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超小型 mems 陀螺仪 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种超小型MEMS陀螺仪传感器，其特征在于，其包括一MEMS晶圆，在MEMS晶圆内挖槽后填埋密度大于硅的金属于槽内形成复合材料的质量块，该MEMS晶圆周围形成一固定框架，该质量块通过至少一弹簧与固定框架连接。
2.如权利要求1所述的超小型MEMS陀螺仪传感器，其特征在于，所述固定框架固定在一玻璃片上。
3.如权利要求1所述的超小型MEMS陀螺仪传感器，其特征在于，所述弹簧为四根，分别位于固定框架的每一内角上。
4.如权利要求1所述的超小型MEMS陀螺仪传感器，其特征在于，所述质量块上固定有多个运动梳齿。
5.如权利要求4所述的超小型MEMS陀螺仪传感器，其特征在于，所述固定框架上固定有多个固定梳齿。
6.如权利要求5所述的超小型MEMS陀螺仪传感器，其特征在于，所述运动梳齿和固定梳齿相互交错排列。
7.如权利要求1所述的超小型MEMS陀螺仪传感器，其特征在于，所述超小型MEMS陀螺仪传感器为一种MEMS惯性传感器。
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