[发明专利]一种离子注入束线法拉第

说明书

技术领域

本发明是一种离子注入束线法拉第，特别涉及半导体制造离子注入工艺中所用的离子注入机，属于半导体器件制造领域。

背景技术

离子注入机是现代半导体集成电路制造中必不可少的工艺设备。现今的半导体集成电路制造工艺对离子注入机的要求越来越高。不仅对整机可靠性、束流纯净度、束流均匀性、注入角度等提出了更高的要求，而且对注入机的离子能量范围、束斑形状、离子束传输效率等也提出了很高的要求，并对其工艺和设备的要求越来越高。特别是对注入机光路系统的要求更加严格。

本发明是一种检测束流的装置，杯测束底板可进行90度旋转调节，可根据需求调节旋转使束流通过。杯测束底板4上的燃烧传感器5可检测到束流。

发明内容

本发明专利一种离子注入束线法拉第，是一个束流的检测装置，可检测束流是否到达束线法拉第以及测量出所引出的束流大小。

本发明通过以下技术方式实现：

一种离子注入束线法拉第，主要包括：安装法兰(1)、绝缘安装板(2)、燃烧传感器(3)、杯测束底板(4)、拆装导杆孔(5)、杯框(6)、旋转轴(7)、气缸(8)。

所述的旋转轴(7)通过与气缸连接完成旋转动作。

所述的拆装导杆孔(5)处在安装法兰1上，主要作用是方便装置的拆装有保护装置在拆装过程中的不至损坏。

所述的绝缘安装板(2)安装在安装法兰(1)内侧与杯框相连，处于杯框(6)和安装法兰(1)之间，主要起绝缘作用且有一定的密封效果。

所述的杯测束底板(4)安装在杯框(6)的左侧。

所述的燃烧传感器(3)在杯测束底板(4)中心位置杯框(6)内，主要作用是用于检测杯测束底板(4)束流。

本发明具有如下显著优点：

安装结构稳定，工作可靠，重复性高，检测能力强。

附图说明

附图1是本发明的一种实施方式的示意图。

具体实施方式：

下面结合附图的具体实施例对本发明作进一步介绍，应该理解，这些描述都是说明性的，本发明不限于此。本发明的范围仅由所附权利要求的范围所限定。

参考图1，一种离子注入束线法拉第，包括：安装法兰(1)、绝缘安装板(2)、燃烧传感器(3)、杯测束底板(4)、拆装导杆孔(5)、杯框(6)、旋转轴(7)、气缸(8)。所述的旋转轴(7)通过与气缸(8)连接完成旋转动作，拆装导杆孔(5)处在安装法兰(1)上；所述的拆装导杆孔(5)主要作用是方便装置的拆装有保护装置在拆装过程中的不至损坏，绝缘安装版(2)安装在安装法兰(1)内侧与杯框相连；所述绝缘安装板(2)处于杯框(6)和安装法兰(1)之间，主要起绝缘作用且有一定的密封效果；所述的杯测束底板(4)安装在杯框(6)的左侧，其中心位置杯框(6)内安装燃烧传感器(3)；所述的燃烧传感器(3)用于检测杯测束底板(4)束流。

束线法拉第设计为旋转90度切换结构，杯体由杯框(6)和杯测束底板(4)组成，采用高纯石墨，底部设计杯底穿孔检测传感器(3)。旋转轴(7)采用抽真空密封，杯测束底板(4)的旋转动作由气缸(8)驱动，双向设计到位行程开关，测束底板(4)转动，杯框(6)保持不动。整体与真空腔绝缘，用于束流检测。下部设计用于便于维护拆装的导杆孔(5)，安装滑动滚珠套。测束底板(6)采用水冷，对外水冷接头和压缩空气接头采用自密封快插接头，密封用真空接头采用双卡套。

本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。