[发明专利]具有窗口加热结构的基板处理装置

权利要求书

1.一种具有窗口加热结构的基板处理装置，其特征在于，包括：

腔室，执行基板处理工艺；

窗口，设置在上述腔室的上部，并且由绝缘体构成，以便在腔室内部和天线之间起到耦合作用；

加热管，配置在上述窗口的上部，向上述窗口的上表面喷射加热空气来加热窗口；

加热空气供给机构，向上述加热管供给加热空气。

2.如权利要求1所述的具有窗口加热结构的基板处理装置，其特征在于，

上述腔室包括腔室主体和与该腔室主体的上部接合的导引架，

上述导引架包括构成四边形框体的外廓面的外廓架、和在上述外廓架的内部相互连接进行分隔以构成多个窗口的分隔架，在其中央部配置有被上述分隔架分隔而成的中央窗口，以上述中央窗口为中心在该中央窗口的周边配置有被上述分隔架分隔成多个的多个周边窗口，

上述加热管构成为可对上述中央窗口和上述周边窗口的全部进行加热。

3.如权利要求1所述的具有窗口加热结构的基板处理装置，其特征在于，

上述加热管以水平方向配置在上述窗口的上部，并且朝着窗口方向形成有多个喷射口。

4.如权利要求1所述的具有窗口加热结构的基板处理装置，其特征在于，

上述加热空气供给机构是同时产生加热空气和冷却空气的涡流发生器。

5.如权利要求4所述的具有窗口加热结构的基板处理装置，其特征在于，

在上述天线的内部形成有可使冷却流体通过的流路，

在上述加热空气供给机构产生的冷却空气被供给至上述天线的流路，可冷却天线。