[发明专利]任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板系统及其方法

权利要求书

1.一种任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板系统，其特征在于，包括：

至少一个真空室，每个真空室内均具有位于其中的M组荫罩板和沉积源；

基板，具有M个基本单元，每一基本单元均一致性地被分割为N个区域；

传动装置，用于使基板或荫罩板沿真空室的路径进行平移而使得在N个不同时间里，该M组荫罩板分别对应于M个基本单元中的不同区域；

其中，M为大于或等于1的自然数，N为大于或等于2的自然数。

2.如权利要求1所述的任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板系统，其特征在于，N等于4。

3.如权利要求1所述的任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板系统，其特征在于，该至少一个真空室为串联设置的N个真空室，并该传动装置为基板传动装置。

4.如权利要求1所述的任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板系统，其特征在于，该至少一个真空室仅为一个，并该传动装置为荫罩板传动装置。

5.如权利要求1所述的任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板系统，其特征在于，该荫罩板系统能操作于基本单元中相邻区域对应的荫罩板和沉积源沉积时的一部分材料相重叠。

6.一种任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板方法，其特征在于，包括如下步骤：

A、按照与完全位于真空箱内的荫罩板和沉积源可操作关系，将每组荫罩板和沉积源分别定位于每一基本单元的第一区域；

B、通过真空蒸镀将材料沉积在每一基本单元的第一区域；

C、通过传动装置将每组荫罩板和沉积源分别定位与每一基本单元的第二区域；

D、通过真空蒸镀将材料沉积在每一基本单元的第二区域；

E、重复步骤C、D而完成对每一基本单元中N个区域的沉积，其中N为大于或等于2的自然数。

7.如权利要求6所述的任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板方法，其特征在于，N等于4。

8.如权利要求6所述的任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板方法，其特征在于，该传动装置为基板传动装置，该真空箱则包括串联设置的N个，并每一基本单元的不同区域分别在不同的真空箱中沉积。

9.如权利要求6所述的任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板方法，其特征在于，该传动装置为荫罩板传动装置，该真空箱则为一个。

10.如权利要求6所述的任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板方法，其特征在于，在沉积基本单元中相邻区域时，使对应的荫罩板和沉积源沉积时的一部分材料相重叠。