[发明专利]高压静电保护器件有效

专利信息
申请号: 201010511125.2 申请日: 2010-10-19
公开(公告)号: CN102456685A 公开(公告)日: 2012-05-16
发明(设计)人: 苏庆 申请(专利权)人: 上海华虹NEC电子有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H02H9/04
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 王江富
地址: 201206 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 高压 静电 保护 器件
【权利要求书】:

1.一种高压静电保护器件,其特征在于,包括一硅控整流器、一第一PNP管,所述硅控整流器、第一PNP管形成在硅衬底的P型外延上;

所述控整流器包括第一高压P阱、第二高压N阱;所述第一高压P阱、第二高压N阱相邻接;

所述第一高压P阱中形成有第一N+扩散区和第一P+扩散区;

所述第二高压N阱中形成有第二N+扩散区和第二P+扩散区;

所述第一PNP管包括一N型埋层,所述N型埋层中形成有一低压N阱,所述低压N阱中形成有所述第一PNP管的基极、发射极、集电极;

所述第一PNP管的基极、发射极短接;

所述第一PNP管的集电极同所述第二N+扩散区和第二P+扩散区短接;

所述第一N+扩散区和第一P+扩散区短接,用作接地端。

2.根据权利要求1所述的高压静电保护器件,其特征在于,还包括第二PNP管,所述硅控整流器、第一PNP管、第二PNP管形成在硅衬底的P型外延上,所述第二PNP管与所述第一PNP管同结构;

所述第二PNP管的基极、发射极短接;

所述第二PNP管的集电极同所述第一PNP管的基极、发射极短接。

3.根据权利要求1所述的高压静电保护器件,其特征在于,还包括一第二PMOS管,所述硅控整流器、第一PNP管、第二PMOS管形成在硅衬底的P型外延上,

所述第二PMOS管包括一N型埋层,所述N型埋层中形成有一低压N阱,所述低压N阱中形成有所述第二PMOS管的栅极、源极、漏极;

所述第二PMOS管的栅极、源极及N型埋层短接;

所述第二PMOS管的漏极同所述第一PNP管的基极、发射极短接。

4.根据权利要求1所述的高压静电保护器件,其特征在于,所述硅控整流器、第一PNP管之间的硅衬底的P型外延上形成有隔离高压P阱,所述隔离高压P阱将所述硅控整流器同所述第一PNP管隔离。

5.根据权利要求4所述的高压静电保护器件,其特征在于,所述隔离高压P阱一端同所述硅控整流器的第二高压N阱相邻接,另一端同所述第一PNP管的N型埋层相邻接,将所述硅控整流器同所述第一PNP管隔离。

6.一种高压静电保护器件,其特征在于,包括一硅控整流器、一第一PMOS管,所述硅控整流器、第一PMOS管形成在硅衬底的P型外延上;

所述控整流器包括第一高压P阱、第二高压N阱;所述第一高压P阱、第二高压N阱相邻接;

所述第一高压P阱中形成有第一N+扩散区和第一P+扩散区;

所述第二高压N阱中形成有第二N+扩散区和第二P+扩散区;

所述第一PMOS管包括一N型埋层,所述N型埋层中形成有一低压N阱,所述低压N阱中形成有所述第一PMOS管的栅极、源极、漏极;

所述第一PMOS管的栅极、源极及N型埋层短接;

所述第一PMOS管的漏极同所述第二N+扩散区和第二P+扩散区短接;

所述第一N+扩散区和第一P+扩散区短接,用作接地端。

7.根据权利要求6所述的高压静电保护器件,其特征在于,还包括第二PNP管,所述硅控整流器、第一PMOS管、第二PNP管形成在硅衬底的P型外延上;

所述第二PNP管包括一N型埋层,所述N型埋层中形成有一低压N阱,所述低压N阱中形成有所述第二PNP管的基极、发射极、集电极;

所述第二PNP管的基极、发射极短接;

所述第二PNP管的集电极同所述第一PMOS管的栅极、源极及N型埋层短接。

8.根据权利要求6所述的高压静电保护器件,其特征在于,还包括一第二PMOS管,所述硅控整流器、第一PMOS管、第二PMOS管形成在硅衬底的P型外延上,所述第二PMOS管与所述第一PMOS管同结构;

所述第二PMOS管的栅极、源极及N型埋层短接;

所述第二PMOS管的漏极同所述第一PMOS管的栅极、源极及N型埋层短接。

9.根据权利要求6所述的高压静电保护器件,其特征在于,所述硅控整流器、第一PMOS管之间的硅衬底的P型外延上形成有隔离高压P阱,所述隔离高压P阱将所述硅控整流器同所述第一PMOS管隔离。

10.根据权利要求9所述的高压静电保护器件,其特征在于,所述隔离高压P阱一端同所述硅控整流器的第二高压N阱相邻接,另一端同所述第一PMOS管的N型埋层相邻接,将所述硅控整流器同所述第一PMOS管隔离。

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