[发明专利]坩埚及具有该坩埚的蒸镀设备

权利要求书

1.一种坩埚，其包括：

一个主体，所述主体具有一个用于盛放柱状蒸镀膜料的收容孔，所述收容孔的底部开设有一个顶杆孔，所述顶杆孔与所述收容孔相贯通；

一个顶杆，所述顶杆设置于所述收容孔的底部且与所述顶杆孔相配合；及

一个驱动器，所述驱动器与所述顶杆相连接，所述驱动器驱动所述顶杆沿所述顶杆孔朝向或背离所述收容孔运动，使得盛放于所述收容孔内的柱状膜料相对于所述收容孔的底部被所述顶杆升起或降低。

2.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述主体包括一个环形盖体，及一个基体；所述环形盖体的中央区域开设有一个第一通孔，所述基体为圆柱体结构，所述基体具有一个开设于其中央区域的中心孔，一个环绕于所述中心孔外围的环形壁，及一个环绕于所述环形壁外围的环形槽；所述环形盖体与所述基体相配合组成所述主体，所述第一通孔与所述中心孔组成所述坩埚的收容孔，所述环形槽形成围绕所述收容孔的空腔，所述环形槽与所述收容孔相通且由所述环形壁所间隔，所述顶杆孔开设于所述中心孔的底部。

3.如权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述第一通孔、所述中心孔、所述收容孔及所述顶杆孔均为圆形孔，所述顶杆为圆柱结构。

4.如权利要求3所述的坩埚，其特征在于，所述第一通孔、所述中心孔、所述收容孔及所述顶杆孔的中心轴同轴，所述顶杆在所述驱动器的驱动下沿着所述顶杆孔的中心轴朝向或背离所述收容孔运动。

5.如权利要求3所述的坩埚，其特征在于，所述顶杆孔的内周面进一步开设有内螺纹，所述顶杆的外周面进一步开设有与所述内螺纹相配合的外螺纹。

6.如权利要求3所述的坩埚，其特征在于，所述驱动器为一个电动马达，其具有一个驱动轴，所述驱动轴的直径小于所述顶杆孔的直径，所述驱动轴与所述顶杆相连接且其两者同轴。

7.如权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述环形壁的内部进一步开设有一个环形通道，所述环形通道与外部冷却管相连通。

8.如权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述环形盖体的外围对称地开设有多个第一螺纹孔，所述基体的外围开设有多个与所述第一螺纹孔一一对应的第二螺纹孔，所述多个第一螺纹孔及所述多个第二螺纹孔与多个螺钉或螺栓一一对应配合，使所述环形盖体与所述基体相配合组成所述主体。

9.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述环形盖体与所述基体由金属铜、钼或者钨制成。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀膜设备包括腔体及设置在所述腔体内的如权利要求1～9任一项所述的坩埚。