[发明专利]对准衬底的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种对准衬底的方法，且更明确地说，涉及以下一种对准衬底的方法，其中多对对准标记的未对准值(misalignment value)包含在容许范围中。

背景技术

在现有技术中，使用阴极射线管(cathode ray tube，CRT)作为显示设备。然而，CRT具有例如体积大且重量重的缺点。因此，近年来，对平板显示面板的使用日增，例如液晶显示器(liquid crystal display，LCD)、等离子显示面板(plasma display panel，PDP)和有机发光装置(organic light emitting device，OLED)。平板显示面板具有例如重量轻、细长且低功率消耗的特性。

平板显示面板通过附接一对上下衬底来制造。举例来说，在LCD的情况下，上面形成有多个薄膜晶体管(thin film transistor)和像素电极(pixel electrode)的下衬底由下卡盘(lower chuck)支撑且固定到所述下卡盘上。沿下衬底的边缘涂布例如密封剂(sealant)之类的密封部件，且接着将液晶滴落到下衬底上。同样，上面形成有彩色滤光片(color filter)和共同电极(common electrode)的上衬底由上卡盘(upper chuck)支撑，所述上卡盘安置在下卡盘上方且面朝下卡盘。给上卡盘和下卡盘中的每一个提供用于支撑并固定上衬底的静电卡盘(electrostatic chuck)。

在附接上衬底与下衬底之前，所述衬底首先需要对准。为了此对准，要在上衬底和下衬底的四个角处形成对准标记。上衬底处的一个对准标记与下衬底处的相应对准标记可被定义成一对对准标记。可通过对准所述四对对准标记来使上衬底与下衬底对准。

上衬底与下衬底的大小和形状由于(例如)切割期间的加工误差而可能不会完全相同。同样，上衬底的对准标记的位置与下衬底的对准标记的位置也可能稍有不同。在现有技术中，上衬底与下衬底是通过减小所述四对对准标记的平均未对准值来对准。举例来说，上衬底与下衬底是通过最小化所述四对对准标记中的三对对准标记的未对准值以减小平均未对准值来对准。因此，剩余的第四对对准标记的未对准值可在容许范围外，虽然所述三对对准标记的未对准值包含在容许范围中仍如此，且因此，附接过程的结果可能变得有缺陷。即，在一对对准标记的未对准值不包含在容许范围中时，上面形成有多个薄膜晶体管的下衬底不与上面形成有彩色滤光片和共同电极的上衬底匹配，使得产生有缺陷的面板e。

发明内容

本发明提供一种对准衬底的方法，其中使最大未对准值减小，直到多对对准标记的相应未对准值包含在容许范围中为止。

根据示范性实施例，提供一种对准一衬底结合设备(substrate binding apparatus)的第一衬底与第二衬底的方法，所述衬底结合设备包含用于对准第一衬底与第二衬底的对准单元，第一衬底和第二衬底中的每一个包括多个对准标记。第一衬底的所述多个对准标记中的一个与第二衬底的所述多个对准标记中的对应者被定义成一对对准标记。所述方法包含减小多个未对准值中的最大未对准值以便对准第一衬底与第二衬底，每一未对准值是从每一对对准标记获得。

减小最大未对准值可包含对准第一衬底与第二衬底，使得多对对准标记的未对准值包含在容许范围内。