[发明专利]一种无氟化学溶液沉积制备高温超导涂层导体超导层的方法

权利要求书

1.一种无氟化学溶液沉积制备高温超导涂层导体超导层的方法，其作法是：

a、前驱溶液制备：将稀土乙酸盐、乙酸钡、乙酸铜按稀土∶钡∶铜的化学计量比1∶2∶3的比例溶解于丙酸中，得前驱溶液；

b、涂层胶体制备：在前驱溶液中，加入聚乙烯醇缩丁醛，充分搅拌，得涂层胶体；

c、涂敷与干燥：将涂层胶体涂敷于基片上，加热干燥，得到带薄膜的基片；

d、湿式分解热处理：将带薄膜的基片置于管式炉中，在氩气气氛保护下，以1-5℃/min的速度从室温升至100-150℃；然后向炉中通入露点为10-20℃的水汽、氩气的混合气，形成潮湿的氩气保护气氛，以0.25-1.5℃/min的速度升温至450-500℃，保温0.5-2小时；随后再在氩气气氛中，自然冷却至室温；

e、成相热处理：湿式分解热处理后，再向管式炉中通入氩气，以15-40℃/min的速度将炉温快速升温至800-900℃，保温5-15分钟；再以1-15℃/min降温至750-780℃，保温1-3小时；然后在氩气保护气氛中，降温至350-500℃；最后向炉中通入氧气，保温1-5小时，然后冷却至室温，即在基体上制得稀土钡铜氧(REBa₂Cu₃O_7-x)超导层。

2.如权利要求1所述的一种无氟化学溶液沉积制备高温超导涂层导体超导层的方法，其特征在于：所述a步中的稀土乙酸盐中的稀土元素为：钇(Y)、镝(Dy)、钆(Gd)、钕(Nd)、钐(Sm)、铕(Eu)、钬(Ho)、铒(Er)中的一种。

3.如权利要求1所述的一种无氟化学溶液沉积制备高温超导涂层导体超导层的方法，其特征在于：所述b步加入的聚乙烯醇缩丁醛与a步的前驱溶液的质量比为2-8∶100。

4.权利要求1所述的一种无氟化学溶液沉积制备高温超导涂层导体超导层的方法，其特征在于：所述c步加热干燥的温度是100-200℃，时间5-20分钟。