[发明专利]压电式高频振动台无效
| 申请号： | 201010182649.1 | 申请日： | 2010-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN101854153A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 杨丽峰;于梅 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100013 北京市朝阳区北三*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 高频 振动 | ||
1.一种压电式高频振动台，其特征在于，包括基座、压电陶瓷叠堆、台面以及预应力螺栓；
所述基座上端叠置所述压电陶瓷叠堆，所述压电陶瓷叠堆上端叠置所述台面；
所述预应力螺栓设置于所述基座内表面底部的中央位置，并设置为穿过所述基座和压电陶瓷叠堆后并插入所述台面内，且所述预应力螺栓位于所述压电陶瓷叠堆内的部分套有绝缘套管；
所述压电陶瓷叠堆包裹于所述绝缘套管外部，所述压电陶瓷叠堆的各层之间设置有电极。
2.如权利要求1所述的压电式高频振动台，其特征在于，所述压电陶瓷叠堆由为压电系数范围为250～400C/N的材料制成。
3.如权利要求1所述的压电式高频振动台，其特征在于，所述压电陶瓷叠堆两端面的平直度和平行度均为0.001mm～0.01mm。
4.如权利要求1所述的压电式高频振动台，其特征在于，所述压电陶瓷叠堆由压电陶瓷片堆叠而成，所述压电陶瓷片的厚度为3mm～5mm；
所述压电陶瓷叠堆的高度为12.20mm～25.12mm。
5.如权利要求1所述的压电式高频振动台，其特征在于，所述电极为铜箔电极，用于与所述压电陶瓷叠堆进行同极性相连；
所述压电陶瓷叠堆的负电极分别连接所述基座与台面。
6.如权利要求1所述的压电式高频振动台，其特征在于，所述台面由密度值为(4.0×103～8.0×103)Kg/m3、且弹性模量值为(1.3×1011～1.5×1011)/Gpa的材料制成，其尺寸根据待校准的对象设计。
7.如权利要求1所述的压电式高频振动台，其特征在于，所述基座由密度值为(14.0×103～17.5×103)Kg/m3、且弹性模量值为(1.3×1011～1.5×1011)/Gpa的材料制成。
8.如权利要求1所述的压电式高频振动台，其特征在于，所述预应力螺栓由经热处理后的高强度螺栓钢制成；
预应力螺栓为螺距值为0.75mm～1.25mm、机械强度值为900～1600Mpa且长度为45mm～55mm的螺栓。
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