[发明专利]平板状待检查体的试验装置

说明书

技术领域

本发明涉及对液晶显示面板那样的平板状待检查体进行试验的装置。

背景技术

对液晶显示面板那样的显示用面板进行点亮试验的装置具有用于对待检查体通电的探针(probe)单元，特别是具有相对于触头的针尖进行定位的定位功能(即对准功能)。

一般而言，这种装置包括：如检查工作台、工件工作台那样的面板承载部；用于使面板承载部沿XYZ3个方向移动和绕沿Z方向延伸的θ轴线旋转的工作台移动机构；配置在面板承载部的上方的探针单元。

在定位时，待检查体以能够解除吸附的方式吸附在面板承载部上，在该状态下，利用工作台移动机构使面板承载部相对于探针单元移动，以使待检查体的电极和触头的针尖接触。

但是，在那样的试验装置中，不只是面板承载部，而且背光单元、用于支承面板承载部的装置等也不得不因工作台移动机构而移动，所以工作台移动机构大型化，试验装置造价较高。

特别是在对近年来的大型的待检查体进行试验的装置中，由工作台所移动的对象物的重量有时会超过1吨，所以无法避免工作台移动机构更加大型化，使试验装置的造价更高。

为了解决如上述那样的课题，提出有如下的对准装置，即，通过使待检查体相对于面板承载部移动来对待检查体进行定位，以使待检查体的电极和触头的针尖接触(专利文献1)。

该对准装置在面板承载面的一对相对的边的每个边上各有配置一对第1推动件，该一对第1推动件在对应的边的延伸方向上隔有间隔地配置，在面板承载面的另一对相对的边中的一个边和另一个边上各配置有第2推动件。各推动件包括：被按压在待检查体的端面的按压构件；使该按压构件相对于待检查体沿X方向或Y方向进退的移动机构。

在定位时，待检查体以如下的方式被定位，即，各推动件的按压构件被移动机构按压在待检查体的X方向或Y方向的端面上，使待检查体相对于面板承载部进行移动，由此，使待检查体的电极和触头的针尖接触。

在那样的对准装置中，作为各推动件的移动机构，若利用由空气、油那样的压力流体使按压构件进退的机构，则待检查体被上述推动件配置在中央位置，相对于面板承载部被定位。

但是，在那样的对准装置中，即使对被配置在相对于面板承载部而言位于相对侧的两推动件、或在对应的边的延伸方向上隔有间隔的推动件所供给的流体的压力存在很小的差异，也会使推动件的按压力产生差异。结果，待检查体不能够准确地被移动，无法进行准确的定位。

专利文献1：日本特开2008-188727号公报

发明内容

本发明提供一种能够对待检查体进行准确定位的廉价的试验装置。

本发明的平板状待检查体的试验装置包括：用于承载平板状待检查体的、具有矩形的面板承载面的面板承载部；具有能被按压在上述待检查体的电极上的多个触头的探针单元；用于使承载于上述面板承载部的待检查体相对于上述触头进行定位的对准装置。

上述对准装置包括：分别配置在上述面板承载面的相对的一对边的一个边和另一个边上的第1推动机构和第1定位机构；分别配置在上述面板承载面的相对的另一对边的一个边和另一个边上的第2推动机构和第2定位机构。

上述推动机构和上述定位机构分别包括：位于上述面板承载面的外侧的至少1个按压构件；用于使该按压构件沿X方向或Y方向移动的至少1个驱动机构。各定位机构的上述驱动机构以能够解除保持状态的方式保持上述按压部件在上述X方向或Y方向上的位置。

各定位机构可以包括能够控制旋转角度位置的电动机。

各定位机构的上述按压构件也可以由至少在其移动方向上难以弹性变形或不弹性变形的材料制作。

各定位机构的上述驱动机构可以包括：驱动源和保持机构，该保持机构被该驱动源驱动，与用于上述驱动源一起以能够解除保持状态的方式保持上述按压构件在上述X方向或Y方向上的位置。

各定位机构的上述保持机构可以包括：丝杠(滚珠丝杠)，其从上述驱动源沿上述X方向或Y方向延伸，被上述驱动源驱动而旋转；螺母，其与该丝杠(滚珠丝杠)螺纹配合、且用于使上述按压构件在上述X方向或Y方向上移动。

各推动机构的上述驱动机构的驱动源可以包括使用压力流体而使上述按压构件进退的作动缸机构。

本发明的试验装置还能够包括：压力互不相同的第1和第2压力流体源以及阀装置，该阀装置用于将该第1和第2压力流体源的压力流体有选择性地供给到上述推动机构的上述驱动机构的驱动源。