[发明专利]平板状待检查体的试验装置

权利要求书

1.一种平板状待检查体的试验装置，其特征在于，包括：

用于承载平板状待检查体的、具有矩形的面板承载面的面板承载部；具有能被按压在上述待检查体的电极上的多个触头的探针单元；用于使承载于上述面板承载部的待检查体相对于上述触头进行定位的对准装置，

上述对准装置包括：分别配置在上述面板承载面的相对的一对边中的一个边和另一个边的第1推动机构和第1定位机构；分别配置在上述面板承载面的相对的另一对边的一个边和另一个边的第2推动机构和第2定位机构，

上述推动机构和上述定位机构分别包括：位于上述面板承载面的外侧的至少1个按压构件；用于使该按压构件沿X方向或Y方向移动的至少1个驱动机构，

各定位机构的上述驱动机构以能够解除保持状态的方式保持上述按压部件在上述X方向或Y方向上的位置。

2.根据权利要求1所述的试验装置，其中，

各定位机构包括能够控制旋转角度位置的电动机。

3.根据权利要求1或2所述的试验装置，其中，

各定位机构的上述按压构件由至少在其移动方向上难以弹性变形或不弹性变形的材料制作。

4.根据权利要求1所述的试验装置，其中，

各定位机构的上述驱动机构包括驱动源和保持机构，该保持机构由该驱动源驱动，并用于与上述驱动源一起以能够解除保持状态的方式保持上述按压构件在上述X方向或Y方向上的位置。

5.根据权利要求4所述的试验装置，其中，

各定位机构的上述保持机构包括：丝杠，其从上述驱动源沿上述X方向或Y方向延伸，被上述驱动源驱动而旋转；螺母，其与该滚珠丝杠螺纹配合，且用于使上述按压构件在上述X方向或Y方向上移动。

6.根据权利要求1所述的试验装置，其中，

各推动机构的上述驱动机构的驱动源包括使用压力流体使上述按压构件进退的作动缸机构。

7.根据权利要求1所述的试验装置，其中，

该试验装置还包括：压力互不相同的第1和第2压力流体源；阀装置，用于将该第1和第2压力流体源的压力流体有选择地向上述推动机构的上述驱动机构的驱动源供给。

8.根据权利要求1所述的试验装置，其中，

该试验装置还包括电空调节器，该电空调节器用于将压力互不相同的至少2种压力流体有选择性地向上述推动机构的上述驱动机构的驱动源供给。

9.根据权利要求1所述的试验装置，其中，

上述推动机构和上述定位机构还分别包括移动体，该移动体用于支承上述按压构件，且被上述驱动机构驱动而沿着上述X方向或Y方向移动，该移动体配置在上述面板承载部上。

10.根据权利要求9所述的试验装置，其中，

上述按压构件以能绕沿Z方向延伸的轴线旋转的方式支承在上述移动体上。

11.根据权利要求1所述的试验装置，其中，

该试验装置还包括用于使上述面板承载部向Z方向移动的Z移动机构。

12.根据权利要求1所述的试验装置，其中，

该试验装置还包括上浮装置，该上浮装置配置在上述面板承载部上，在利用上述对准装置使上述待检查体移动时，该上浮装置使该待检查体从上述面板承载面上浮。

13.根据权利要求12所述的试验装置，其中，

上述上浮装置包括：球，该球配置于上述面板承载部，其一部分能突出上述面板承载面或能退入上述面板承载面；弹簧，其用于对该球施力，以使该球的一部分能从上述面板承载面露出。

14.根据权利要求1所述的试验装置，其中，

上述面板承载部包括：敞口部，其朝向上述面板承载面敞口；阀，其将该敞口部有选择性地与压力流体的供给源和减压容器中的至少一方连接。

15.根据权利要求1所述的试验装置，其中，

该试验装置还包括具有矩形的第1开口的工作台基座，该工作台基座配置有上述面板承载部，

上述面板承载部包括4个移动片，该4个移动片共同形成矩形的第2开口，并且共同形成上述面板承载面，且该4个移动片以使上述第2开口的大小能够变化的方式配置在上述工作台基座上，该矩形的第2开口能够与上述第1开口相对且与上述第1开口相似。