[发明专利]一种彩色有机发光显示面板及其制备方法无效

专利信息
申请号: 201010121391.4 申请日: 2010-03-10
公开(公告)号: CN101777577A 公开(公告)日: 2010-07-14
发明(设计)人: 李俊 申请(专利权)人: 彩虹集团公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L51/56;H01L51/52
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 汪人和
地址: 71202*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 彩色 有机 发光 显示 面板 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种彩色有机发光显示面板,包括上、下基板玻璃及覆盖在上、 下基板玻璃上的ITO,其特征在于:在下基板玻璃(100)上覆盖有下基 板ITO(101),在该下基板ITO(101)上溅射有金属层;在上基板玻 璃(200)上覆盖有上基板ITO(201),且上、下基板玻璃相互压合;在 上、下基板玻璃之间设置有间隔下基板ITO(101)、金属层及上基板ITO (201)的绝缘柱(104),且在相邻绝缘柱(104)之间分布有有机层;

所述金属层为Al(102)及Ni(103);

所述有机层为依次至下而上层间分布的空穴注入层(105)、空穴传输 层(106)、RGB不同色素的发光层(107)、电子传输层(108)、电子注 入层(109)和ITO导电层(110);

所述绝缘柱(104)为矩形阵列,且其分布于上、下基板ITO条形间 隙之间;

所述绝缘柱(104)的截面上端为正梯形结构,上基板ITO(201) 及有机层分布在该正梯形结构间隔之间;所述绝缘柱(104)的截面下端 为柱形,下基板ITO(101)及金属层分布在该柱形结构之间。

2.一种彩色有机发光显示面板的制备方法,其特征在于:该制备方 法包括如下步骤:

1)取一块ITO玻璃基板(1)进行清洗、干燥,然后将其作为下基 板,在下基板ITO(101)上溅射两层金属层Al(102)与Ni(103),再 进行激光退火,退火温度为850℃,退火时间为38s;

2)在溅射有Al/Ni的玻璃基板上涂布光刻胶,在140~150℃热板进 行预烘烤3~3.5min,曝光50s;并用0.5%的NaCO3进行显影,洗净,干 燥,在150~160℃烘烤4~5min;再对该玻璃基板进行下基板ITO/Al/Ni 刻蚀,用HCl∶HNO3∶H2O2=5∶5∶2的刻蚀液刻出阳极图形;从而完 成下基板阳极图形的制作;

3)取另一块ITO玻璃基板(1)进行清洗、干燥,然后将其作为上 基板,在上基板ITO(201)上涂布光刻胶,在140~150℃热板进行预烘 烤3~3.5min,曝光50s;并用0.5%的NaCO3进行显影,洗净,干燥,在 150~160℃烘烤4~5min;再对该玻璃基板进行上基板ITO(201)的刻蚀, 用HCl∶HNO3∶H2O2=5∶5∶2的刻蚀液刻出金属阴极图形,将光刻胶 去掉,从而完成上基板阴极图形的制作;

4)在步骤2)得到的刻蚀ITO/Al/Ni金属图案的下基板玻璃上旋涂 正性光刻胶130~140nm,在150~170℃进行初次烘烤4~5min,曝光60~ 70s,用0.5%的NaCO3进行显影,清洗,吹干;在160~180℃再二次烘烤 5~6min,固化,得到绝缘柱(104);

5)通过对位系统移动遮挡掩膜或下基板玻璃(100)分别在蒸镀设备 蒸镀红R、绿G、蓝B各有机像素层,依次蒸镀空穴注入层(105)20nm、 空穴传输层(106)20nm、RGB不同色素的发光层(107)30nm、电子传 输层(108)10nm、参杂有Cs2CO3的电子注入层(109)40nm和ITO导 电层(110)20nm;

6)在下基板玻璃(100)显示区(4)外沿涂覆紫外固化胶,在真空 下与上基板玻璃(200)进行对位贴合;

7)将步骤6)对位贴合后的显示面板于真空键合设备中,50℃~70℃, 真空度0.1Pa,压力20Kg,压合30min;并通过紫外灯照射固化,至此, 即得彩色有机发光显示面板。

3.根据权利要求2所述的一种彩色有机发光显示面板的制备方法, 其特征在于:所述溅射两层金属层为先溅射一层Al(102),厚度为0.5~ 1nm;再溅射一层Ni(103),厚度为1~2nm。

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