[发明专利]一种彩色有机发光显示面板及其制备方法

权利要求书

1.一种彩色有机发光显示面板，包括上、下基板玻璃及覆盖在上、 下基板玻璃上的ITO，其特征在于：在下基板玻璃(100)上覆盖有下基 板ITO(101)，在该下基板ITO(101)上溅射有金属层；在上基板玻 璃(200)上覆盖有上基板ITO(201)，且上、下基板玻璃相互压合；在 上、下基板玻璃之间设置有间隔下基板ITO(101)、金属层及上基板ITO (201)的绝缘柱(104)，且在相邻绝缘柱(104)之间分布有有机层；

所述金属层为Al(102)及Ni(103)；

所述有机层为依次至下而上层间分布的空穴注入层(105)、空穴传输 层(106)、RGB不同色素的发光层(107)、电子传输层(108)、电子注 入层(109)和ITO导电层(110)；

所述绝缘柱(104)为矩形阵列，且其分布于上、下基板ITO条形间 隙之间；

所述绝缘柱(104)的截面上端为正梯形结构，上基板ITO(201) 及有机层分布在该正梯形结构间隔之间；所述绝缘柱(104)的截面下端 为柱形，下基板ITO(101)及金属层分布在该柱形结构之间。

2.一种彩色有机发光显示面板的制备方法，其特征在于：该制备方 法包括如下步骤：

1)取一块ITO玻璃基板(1)进行清洗、干燥，然后将其作为下基 板，在下基板ITO(101)上溅射两层金属层Al(102)与Ni(103)，再 进行激光退火，退火温度为850℃，退火时间为38s；

2)在溅射有Al/Ni的玻璃基板上涂布光刻胶，在140～150℃热板进 行预烘烤3～3.5min，曝光50s；并用0.5％的NaCO₃进行显影，洗净，干 燥，在150～160℃烘烤4～5min；再对该玻璃基板进行下基板ITO/Al/Ni 刻蚀，用HCl∶HNO₃∶H₂O₂＝5∶5∶2的刻蚀液刻出阳极图形；从而完 成下基板阳极图形的制作；

3)取另一块ITO玻璃基板(1)进行清洗、干燥，然后将其作为上 基板，在上基板ITO(201)上涂布光刻胶，在140～150℃热板进行预烘 烤3～3.5min，曝光50s；并用0.5％的NaCO₃进行显影，洗净，干燥，在 150～160℃烘烤4～5min；再对该玻璃基板进行上基板ITO(201)的刻蚀， 用HCl∶HNO₃∶H₂O₂＝5∶5∶2的刻蚀液刻出金属阴极图形，将光刻胶 去掉，从而完成上基板阴极图形的制作；

4)在步骤2)得到的刻蚀ITO/Al/Ni金属图案的下基板玻璃上旋涂 正性光刻胶130～140nm，在150～170℃进行初次烘烤4～5min，曝光60～ 70s，用0.5％的NaCO₃进行显影，清洗，吹干；在160～180℃再二次烘烤 5～6min，固化，得到绝缘柱(104)；

5)通过对位系统移动遮挡掩膜或下基板玻璃(100)分别在蒸镀设备 蒸镀红R、绿G、蓝B各有机像素层，依次蒸镀空穴注入层(105)20nm、 空穴传输层(106)20nm、RGB不同色素的发光层(107)30nm、电子传 输层(108)10nm、参杂有Cs₂CO₃的电子注入层(109)40nm和ITO导 电层(110)20nm；

6)在下基板玻璃(100)显示区(4)外沿涂覆紫外固化胶，在真空 下与上基板玻璃(200)进行对位贴合；

7)将步骤6)对位贴合后的显示面板于真空键合设备中，50℃～70℃， 真空度0.1Pa，压力20Kg，压合30min；并通过紫外灯照射固化，至此， 即得彩色有机发光显示面板。

3.根据权利要求2所述的一种彩色有机发光显示面板的制备方法， 其特征在于：所述溅射两层金属层为先溅射一层Al(102)，厚度为0.5～ 1nm；再溅射一层Ni(103)，厚度为1～2nm。