[发明专利]一种彩色有机发光显示面板及其制备方法无效
申请号: | 201010121391.4 | 申请日: | 2010-03-10 |
公开(公告)号: | CN101777577A | 公开(公告)日: | 2010-07-14 |
发明(设计)人: | 李俊 | 申请(专利权)人: | 彩虹集团公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56;H01L51/52 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 汪人和 |
地址: | 71202*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 彩色 有机 发光 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
1.一种彩色有机发光显示面板,包括上、下基板玻璃及覆盖在上、 下基板玻璃上的ITO,其特征在于:在下基板玻璃(100)上覆盖有下基 板ITO(101),在该下基板ITO(101)上溅射有金属层;在上基板玻 璃(200)上覆盖有上基板ITO(201),且上、下基板玻璃相互压合;在 上、下基板玻璃之间设置有间隔下基板ITO(101)、金属层及上基板ITO (201)的绝缘柱(104),且在相邻绝缘柱(104)之间分布有有机层;
所述金属层为Al(102)及Ni(103);
所述有机层为依次至下而上层间分布的空穴注入层(105)、空穴传输 层(106)、RGB不同色素的发光层(107)、电子传输层(108)、电子注 入层(109)和ITO导电层(110);
所述绝缘柱(104)为矩形阵列,且其分布于上、下基板ITO条形间 隙之间;
所述绝缘柱(104)的截面上端为正梯形结构,上基板ITO(201) 及有机层分布在该正梯形结构间隔之间;所述绝缘柱(104)的截面下端 为柱形,下基板ITO(101)及金属层分布在该柱形结构之间。
2.一种彩色有机发光显示面板的制备方法,其特征在于:该制备方 法包括如下步骤:
1)取一块ITO玻璃基板(1)进行清洗、干燥,然后将其作为下基 板,在下基板ITO(101)上溅射两层金属层Al(102)与Ni(103),再 进行激光退火,退火温度为850℃,退火时间为38s;
2)在溅射有Al/Ni的玻璃基板上涂布光刻胶,在140~150℃热板进 行预烘烤3~3.5min,曝光50s;并用0.5%的NaCO3进行显影,洗净,干 燥,在150~160℃烘烤4~5min;再对该玻璃基板进行下基板ITO/Al/Ni 刻蚀,用HCl∶HNO3∶H2O2=5∶5∶2的刻蚀液刻出阳极图形;从而完 成下基板阳极图形的制作;
3)取另一块ITO玻璃基板(1)进行清洗、干燥,然后将其作为上 基板,在上基板ITO(201)上涂布光刻胶,在140~150℃热板进行预烘 烤3~3.5min,曝光50s;并用0.5%的NaCO3进行显影,洗净,干燥,在 150~160℃烘烤4~5min;再对该玻璃基板进行上基板ITO(201)的刻蚀, 用HCl∶HNO3∶H2O2=5∶5∶2的刻蚀液刻出金属阴极图形,将光刻胶 去掉,从而完成上基板阴极图形的制作;
4)在步骤2)得到的刻蚀ITO/Al/Ni金属图案的下基板玻璃上旋涂 正性光刻胶130~140nm,在150~170℃进行初次烘烤4~5min,曝光60~ 70s,用0.5%的NaCO3进行显影,清洗,吹干;在160~180℃再二次烘烤 5~6min,固化,得到绝缘柱(104);
5)通过对位系统移动遮挡掩膜或下基板玻璃(100)分别在蒸镀设备 蒸镀红R、绿G、蓝B各有机像素层,依次蒸镀空穴注入层(105)20nm、 空穴传输层(106)20nm、RGB不同色素的发光层(107)30nm、电子传 输层(108)10nm、参杂有Cs2CO3的电子注入层(109)40nm和ITO导 电层(110)20nm;
6)在下基板玻璃(100)显示区(4)外沿涂覆紫外固化胶,在真空 下与上基板玻璃(200)进行对位贴合;
7)将步骤6)对位贴合后的显示面板于真空键合设备中,50℃~70℃, 真空度0.1Pa,压力20Kg,压合30min;并通过紫外灯照射固化,至此, 即得彩色有机发光显示面板。
3.根据权利要求2所述的一种彩色有机发光显示面板的制备方法, 其特征在于:所述溅射两层金属层为先溅射一层Al(102),厚度为0.5~ 1nm;再溅射一层Ni(103),厚度为1~2nm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于彩虹集团公司,未经彩虹集团公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010121391.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种电动车用电机定子组件
- 下一篇:铸造粘土-树脂混合旧砂机械联合再生的方法
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的