[发明专利]基板管理方法

权利要求书

1.一种基板管理方法，所述方法在将基板保持在静电卡盘上时管理基板状态以防基板破损，所述静电卡盘包括：

卡盘主体，其具有多个电极；

绝缘体卡板，其具有可与应处理基板的外周边缘部面接触的挡边部和在所述挡边部所围绕的内部空间内垂直设置的、具有指定间隔的多个支持部；

气体导入设备，向所述内部空间导入指定的气体；

其中，所述静电卡盘通过电极间外加指定电压用卡板来吸附基板，且，向所述静电卡盘的所述内部空间供给指定的气体以形成气体气氛，其特征在于：

通过交流电源输入流过卡板的电容的交流电流，检测此电流值；同时，监测经气体导入设备导入的所述气体的流量，根据电流值及气体流量中至少一方的变化量来进行所述基板状态的管理。

2.根据权利要求1所述的基板管理方法，其特征在于：如所述电流值及气体流量中至少一方的变化量超过指定的阈值，则判断为导致基板破损的基板状态，通过控制加在两电极之间的直流电压及来自气体导入设备的气体流量中的至少一方，消除所述基板状态。

3.根据权利要求1或2所述的基板管理方法，其特征在于：将所述基板搭载在卡板上后，在向所述电极上加电压前输入交流电流，监测此电流值，如超过指定的阈值，则判断为基板不良。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板管理方法，其特征在于：在所述基板处于吸附状态时停止加电压后，根据所述电流值判断基板处于可能脱离卡板状态。