[发明专利]厚度或表面形貌检测方法

权利要求书

1.一种厚度或表面形貌检测方法，利用白色光干涉计检测层叠于基底层上的薄膜层的厚度或表面形貌，其特征在于，包括以下步骤：

设置多个具有不同厚度的假想的薄膜层样品，并对每个薄膜层样品模拟出干涉信号，以形成对应于每一厚度的模拟干涉信号的步骤；

向所述薄膜层照射白色光，从而在入射到所述薄膜层的光轴方向上获得实际干涉信号的步骤；

根据所述实际干涉信号，形成可能成为所述薄膜层的厚度的多个厚度估算值的步骤；

对具有与所述厚度估算值对应的厚度的模拟干涉信号和所述实际干涉信号进行比较并判断是否基本一致的步骤；以及

将与所述实际干涉信号基本一致的模拟干涉信号的厚度确定为所述薄膜层的厚度的步骤。

2.根据权利要求1所述的厚度或表面形貌检测方法，其特征在于，在形成多个厚度估算值的步骤中，通过在所述实际干涉信号中选择2个以上峰值，并利用2个峰值之间的峰值个数来形成所述厚度估算值。

3.根据权利要求2所述的厚度或表面形貌检测方法，其特征在于，所述形成多个厚度估算值的步骤包括以下步骤：

将所述实际干涉信号分为由空气层和所述薄膜层的分界面上的干涉现象产生的第一波形、和由所述薄膜层和所述基底层的分界面上的干涉现象产生的第二波形的步骤；

在所述第一波形与所述第二波形中分别选择峰值的步骤；及

利用所述第一波形的峰值和所述第二波形的峰值之间的峰值个数来计算所述厚度估算值的步骤。

4.根据权利要求3所述的厚度或表面形貌检测方法，其特征在于，所述峰值的选择步骤包括以下步骤：

将所述第二波形的多个峰值中具有最高值的峰值设定为基准峰值的步骤；以及

在所述第一波形中选择多个峰值的步骤，

计算所述厚度估算值的步骤包括以下步骤：

组合所述第一波形的峰值与所述基准峰值，针对被组合的各个情况计算出所述第一波形的峰值与所述基准峰值之间的峰值个数的步骤；以及

利用所述峰值个数计算出所述厚度估算值的步骤。

5.根据权利要求3所述的厚度或表面形貌检测方法，其特征在于，所述峰值的选择步骤包括以下步骤：在所述第一波形中选择多个峰值，在所述第二波形中选择多个峰值的步骤，

计算所述厚度估算值的步骤包括以下步骤：

组合所述第一波形的多个峰值与所述第二波形的多个峰值，针对被组合的各种情况，计算所述第一波形的峰值与所述第二波形的峰值之间的峰值个数的步骤；以及

利用所述峰值个数计算所述厚度估算值的步骤。

6.根据权利要求4或5所述的厚度或表面形貌检测方法，其特征在于，所述厚度估算值由以下公式计算：

dcan=N×λ2×n]]>

其中，d_can是所述厚度估算值，N是所述峰值个数，λ是所述白色光的等价波长，n是所述薄膜层的折射率。

7.根据权利要求3所述的厚度或表面形貌检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

针对与所确定的薄膜层的厚度对应的第一波形的峰值，将相对于入射到所述薄膜层的光轴方向的位置设定为所述薄膜层的表面高度的步骤；

重复进行一边沿所述薄膜层移动一边设置所述表面高度的步骤，以求出所述薄膜层的表面形貌的步骤。