[发明专利]成膜方法和存储介质

权利要求书

1.一种成膜方法，其特征在于，包括：

在处理容器内配置基板的工序；

向所述处理容器内导入含有第一金属的气态第一有机金属化合物原料、含有第二金属的气态第二有机金属化合物原料和氧化剂的工序，

在基板上形成AxByOz型的氧化物膜，

作为所述第一有机金属化合物原料，使用有机配体被氧化剂分解而产生CO的化合物，作为所述第二有机金属化合物原料，使用金属醇盐，作为氧化剂，使用气态的O₃或者O₂，在即将导入氧化剂之前，必须导入所述第二有机金属化合物原料。

2.如权利要求1所述的成膜方法，其特征在于：

依次进行向所述处理容器内导入所述第一有机金属化合物原料的工序，对所述处理容器内进行清扫的工序、向所述处理容器内导入所述第二有机金属化合物原料的工序、对所述处理容器内进行清扫的工序、向所述处理容器中导入所述氧化剂的工序、对所述处理容器内进行清扫的工序，将其作为一个循环，进行多个循环，从而在基板上形成AxByOz型的氧化物膜。

3.如权利要求1所述的成膜方法，其特征在于：

将向所述处理容器内导入所述第一有机金属化合物原料的工序、和对所述处理容器内进行清扫的工序进行一次或者重复规定次数，之后，将向所述处理容器内导入所述第二有机金属化合物原料的工序、对所述处理容器内进行清扫的工序、向所述处理容器中导入所述氧化剂的工序、对所述处理容器内进行清扫的工序进行一次或者重复规定次数，将其作为一个循环，进行多个循环，从而在基板上形成AxByOz型的氧化物膜。

4.如权利要求1所述的成膜方法，其特征在于：

所述第一有机金属化合物原料是环戊二烯化合物或酰胺类化合物。

5.如权利要求1所述的成膜方法，其特征在于：

所述第一有机金属化合物是Sr化合物，所述第二有机金属化合物是Ti化合物，所述AxByOz型的氧化物膜是Sr-Ti-O系膜。

6.一种成膜方法，其特征在于，包括：

在处理容器内配置基板的工序；

向所述处理容器内导入含有第一金属的气态第一有机金属化合物原料、含有第二金属的气态第二有机金属化合物原料和氧化剂的工序，

在基板上形成AxByOz型的氧化物膜，

作为第一有机金属化合物原料，使用有机配体被氧化剂分解而产生CO的化合物，

重复进行多次第一成膜阶段和第二成膜阶段，

第一成膜阶段包括向所述处理容器内导入所述第一有机金属化合物原料的工序、向所述处理容器内导入所述氧化剂的工序、以及在这些工序后对处理容器内进行清扫，

第二成膜阶段包括向所述处理容器内导入所述第二有机金属化合物原料的工序、向所述处理容器内导入所述氧化剂的工序、以及在这些工序后对处理容器内进行清扫，

所述第一成膜阶段重复不超过5次。

7.如权利要求6所述的成膜方法，其特征在于：

所述第一有机金属化合物原料是环戊二烯化合物或酰胺类化合物。

8.如权利要求6所述的成膜方法，其特征在于：

所述第二有机金属化合物是金属醇盐。

9.如权利要求6所述的成膜方法，其特征在于：

所述氧化剂是气态的O₃或者O₂。

10.如权利要求6所述的成膜方法，其特征在于：

所述第一有机金属化合物是Sr化合物，所述第二有机金属化合物是Ti化合物，所述AxByOz型的氧化物膜是Sr-Ti-O系膜。