[实用新型]一种同步驱动升降装置有效
申请号: | 200920229523.8 | 申请日: | 2009-11-06 |
公开(公告)号: | CN201562670U | 公开(公告)日: | 2010-08-25 |
发明(设计)人: | 尹周平;陈显才;王瑜辉;熊有伦 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/603 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 李智 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 同步 驱动 升降 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种驱动装置,尤其涉及一种用于电子封装中热压固化设备的同步驱动装置。
背景技术
随着对芯片封装无铅化和高密度的需求增加,ACA(各向异性导电胶)在电子封装中得到了广泛应用。ACA需要通过热压设备对其施加适当的压力和温度来保证其充分固化以实现芯片和基板的可靠互连。ACA的固化时间在10S左右,为了提升效率,现有的自动热压固化设备多采用了一次热压多个芯片的办法,使得热压区域变得较大。这样,在自动热压固化设备中就需要有一个装置能可靠地驱动多个热压头同时进行升降运动,且中间较大的工作区域中不允许有传动部件出现。如果用单电机单侧驱动,被驱动部分跨距较大,会产生偏载,一是会影响寿命,更重要的是由于导轨侧隙的存在可能会导致热压头的热压平面发生偏转,使得上下热压平面不平行从而导致芯片各凸点受力不均,降低封装质量。如果采用单电机中间驱动,可以避免偏载产生的不利影响,但是会使得设备竖直向高度大幅增加,难以做到紧凑精巧。现有的热压固化设备多采用双边同步驱动的方式来实现热压头的垂直升降。
双边同步驱动装置在电子装备、起重设备、加工设备中均有着广泛应用,目前主要有以下几种方案被普遍采用:1、双电机加双边齿轮齿条驱动,控制电机同步驱动两侧齿轮在齿条上同步运行,中国专利申请号为200620068659.1的专利公布了此种方案。2、双伺服电机加双滚珠丝杠,通过控制算法来控制伺服电机的同步旋转以实现两侧丝杠直线运动的同步,中国专利申请号为200720037365.7以及专利申请号为200820148594.0的专利分别此种结构方案和控制方法。3、滑轮加钢丝绳驱动,如中国专利申请号为02292664.X的专利所采用的方案。4、单电机加双边同步带加金属杆刚性连接,单电机驱动一边同步带运动,同步带轮通过与其同轴的金属杆与另一边的同步带轮连接,通过金属杆把动力传到另一侧,实现同步。5、双边气缸驱动,通过气路来控制两气缸的同步,目前的ACA封装热压固化设备多采用此同步驱动方案。方案1、2可以实现精确的同步控制,但是控制算法复杂,成本较高,如果控制不当,有可能会造成卡死,方案3、4在竖直方向进行同步驱动时容易产生振动,难以迅速稳定,控制精度不高。方案5只能进行上下两点的同步控制,对于需要连续精确定位的同步控制场合显得无能为力。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供一种用于ACA封装中热压固化设备的同步驱动升降装置,具有结构简单、控制容易、同步精度高、无卡死及稳定迅速的特点。
一种同步驱动升降装置,包括分立两侧的主动滚珠丝杠和从动滚珠丝杠,其特征在于:两滚珠丝杠对应端通过同步带传动机构连接,只有主动滚珠丝杠由电机驱动旋转,从动滚珠丝杠由同步带驱动旋转;移动台分别与主、从动滚珠丝杠的螺母连接,同时与竖直导向机构连接。
与现有同步驱动技术相比,本实用新型通过同步带把两根滚珠丝杠连接起来,从结构上保证了两根滚珠丝杠的同步,避免了对两个伺服电机进行同步控制的复杂算法。滚珠丝杠为刚型结构,如用精密滚珠丝杠,可以很好地保证同步运动精度,减少运动稳定时间。同步带具有一定柔性,能够实现缓冲功能,从而可以避免出现卡死现象,延长使用寿命。
附图说明
图1为本实用新型一种具体实施方式的结构示意图。
图2为图1的主视图。
图3为图1的俯视图。
图4为图1中主动滚珠丝杠组件的主视图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的实施例作详细说明。
如图1所示,本实用新型涉及一种用于热压固化设备的Z(竖直)向同步驱动装置,主要包括主动滚珠丝杠组件1、从动滚珠丝杠组件2、同步带3、Z向移动组件4、同步带张紧机构5。
主动滚珠丝杠组件1的结构参见结合图1~图4,电机11通过联轴器12与主动滚珠丝杠13的输入端连接,主动滚珠丝杠13通过轴承座14固定在主动侧立板19上,轴承座14的支撑方式可以选择一端固定一端支撑或两端支撑等方式。主动侧同步带轮16通过联轴器15与主动滚珠丝杠13的输出端连接,主动侧同步带轮16由两端的轴承座17支撑,固定在主动侧立板19上,轴承座17也可只支撑一端。主动侧同步带轮16与主动滚珠丝杠13连接的另一种实施方案是把主动侧同步带轮16直接套在主动滚珠丝杠13的输出端端部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造