[实用新型]模压工具有效

专利信息
申请号: 200920207715.9 申请日: 2009-08-11
公开(公告)号: CN201562120U 公开(公告)日: 2010-08-25
发明(设计)人: 张一平;龚伟平;李华;黄志良 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G03F1/00 分类号: G03F1/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 20120*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 模压 工具
【权利要求书】:

1.一种模压工具,用于修复光罩盒的底部衬垫,其特征在于,包括:

与所述底部衬垫匹配的第一模板;

与所述第一模板匹配的第二模板,其与所述第二模板相互压合;

与所述第一模板连接的加热装置,其用以加热所述第一模板。

2.如权利要求1所述的模压工具,其特征在于,所述底部衬垫包括矩形盖体以及沿该矩形盖体的边缘向外水平延伸的边缘部,所述第一模板包括第一平板以及设置在该第一平板上的凹槽,所述凹槽与所述边缘部相匹配。

3.如权利要求2所述的模压工具,其特征在于,所述第二模板包括第二平板以及设置在该第二平板上的凸起,所述凸起与所述凹槽相匹配。

4.如权利要求3所述的模压工具,其特征在于,所述第二模板还包括设置在所述第二平板上的手把。

5.如权利要求4所述的模压工具,其特征在于,所述加热装置包括设置于所述第一平板内的加热元件以及与该加热元件连接的控制器。

6.如权利要求5所述的模压工具,其特征在于,所述加热元件是电加热管。

7.如权利要求6所述的模压工具,其特征在于,所述加热装置还包括与所述控制器连接的热电偶,所述热电偶设置于所述第一平板内。

8.如权利要求7所述的模压工具,其特征在于,所述第一平板的材质是铝合金。

9.如权利要求8所述的模压工具,其特征在于,所述第二平板的材质是铝合金。

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