[实用新型]一种铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪。

背景技术

目前，国内对铬版膜针孔微观缺陷的检查，一般是使用显微镜，用肉眼进行观察，劳动强度大，可靠性差，效率低。国外已有铬版膜针孔微观缺陷自动检查的专用设备，效率和可靠性高，实现精度2μm大小的针孔，650*550mm大小铬版面检测时间60min，但结构复杂，体积大(一般多为2500*2000*1500mm)，价格昂贵(RMB1500余万元/台)。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种结构简单，操作方便，检查速度快，效率高的铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪。

本实用新型的技术方案是：其包括机架、固定于机架上的台板，台板上固定有透明玻璃基板，透明玻璃基板下方设有LED双点光源；台板上装有XY轴机器人，XY轴机器人的Y轴上装有悬臂和微调装置，双点光源装在悬臂上，微调装置顶部设有两套CCD成像系统，所述CCD成像系统由可调镜头和最高分辨率≥1920×1080 CCD相机构成，所述XY轴机器人与ROBOT及PLC控制器连接；所述ROBOT及PLC控制器通过I/O与工控PC机连接，并与台板上的声光报警装置和操控盒连接，CCD相机电缆通过拖链与工控PC机上的高速图像采集卡连接，工控PC机与LCD显示器连接；明玻璃基板旁边设有铬板承载装置。

所述XY轴机器人宜选用±0.01mm高精度洁净室专用XY轴机器人。所述可调镜头宜选用3.5倍到22.5倍可调3mm F.F镜头。所述最高分辨率≥1920×1080CCD相机可选用高速31fps200万像素最高分辨率1920×1080的CCD相机。所述高速图像采集卡宜选用高速800Mbps/S、IEE1394DACM图像采集卡。

为便于调节台板的水平度，减少地面震动对仪器工作时的负面影响，机架下部宜安装水平调节减震装置。为方便仪器移动，机架下部宜安装脚轮。

本实用新型结构紧凑，稳定性好，维修方便，兼容性强，操作简单；取像的精度高，效果好，缺陷的检查精度可以达到2μm，大幅提高了可靠性；检查速度快，效率高；设备价格仅为进口同类产品的1/15左右。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的主视图；

图2是图1所示实施例的俯视图；

图3是图1所示实施例的左视图。

具体实施方式

以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。

参照附图，本实施例包括机架1、固定于机架1上的台板2，台板2上固定有透明的玻璃基板12，玻璃基板12下方设有LED点光源I 13-1和LED点光源II 13-2；台板2上还装有由Robot X轴5和Robot Y轴6组成的XY轴机器人，X轴5和Y轴6成90°角叠加，XY轴机器人的有效运动行程能覆盖整个最大铬板宽幅，Y轴6上装有微调装置I 8-1、微调装置II 8-2、水平微调装置III8-3和悬臂11，微调装置I 8-1上部设有3.5倍到22.5倍可调镜头I 9-1和高速31fps200万像素最高分辨率1920×1080的CCD相机I 10-1，微调装置II 8-2上部设有3.5倍到22.5倍可调镜头II 9-2和高速31fps200万像素最高分辨1920×1080的CCD相机II 10-2，水平微调装置III8-3设于微调装置底板上，微调装置I 8-1可对CCD相机I 10-1的位置进行上下微调，微调装置II 8-2可对CCD相机II 10-2的位置进行上下微调，微调装置III8-3可对CCD相机10-2的位置进行左右微调，以满足对不同规格和厚度铬版的兼容；LED点光源I 13-1和LED点光源II 13-2安装在悬臂11上，LED点光源I 13-1、点光源II 13-2位置可以微调，使得LED点光源I 13-1、LED点光源II 13-2分别与CCD相机I 10-1、CCD相机II 10-2上下对应，并可同步移动；XY轴机器人与ROBOT及PLC控制器16连接；ROBOT及PLC控制器16通过I/O(信号转化器)与工控PC机17连接，并与台板2上的声光报警装置15和操控盒14连接，CCD相机I 10-1和CCD相机II 10-2的电缆通过拖链7分别与工控PC机17上的两个高速图像采集卡(800Mbps/S、IEE1394DACM图像采集卡)连接，工控PC机17带有键盘19；工控PC机17与LCD显示器18连接；机架1下部装有水平调节减震装置3及方便移动的脚轮4；透明玻璃基板12旁设有铬板承载装置20。