[实用新型]一种铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪

权利要求书

1、一种铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪，包括机架、固定于机架上的台板，其特征在于，台板上固定有透明玻璃基板，透明玻璃基板下方设有LED双点光源；台板上装有XY轴机器人，XY轴机器人的Y轴上装有悬臂和微调装置，双点光源装在悬臂上，微调装置顶部设有两套CCD成像系统，所述CCD成像系统由3.5倍到22.5倍可调镜头和最高分辨率≥1920×1080 CCD相机构成，所述XY轴机器人与ROBOT及PLC控制器连接；所述ROBOT及PLC控制器通过I/O与工控PC机连接，并与台板上的声光报警装置和操控盒连接，CCD相机电缆通过拖链与工控PC机上的高速图像采集卡连接，工控PC机与LCD显示器连接；明玻璃基板旁边设有铬板承载装置。

2、根据权利要求1所述的铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪，其特征在于，所述XY轴机器人为±0.01mm高精度洁净室专用XY轴机器人；所述最高分辨率≥1920×1080 CCD相机为高速31fps200万像素最高分辨1920×1080的CCD相机；所述图像采集卡为高速800Mbps/S IEE1394DACM图像采集卡。

3、根据权利要求1或2所述的铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪，其特征在于，机架下部装有水平调节减震装置。

4、根据权利要求1或2所述的铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪，其特征在于，机架下部还装有方便移动的脚轮。

5、根据权利要求3所述的铬版膜针孔微观缺陷高速自动检查仪，其特征在于，机架下部还装有方便移动的脚轮。