[发明专利]一种相变温度测试系统

权利要求书

1.一种相变温度测试系统，其特征在于：该系统包括红外加热炉(2)、 激光器(10)、光电探测器(11)、温度控制传感电路(13)和数据处理器 (14)，用于直接测量从室温至1200℃的薄膜材料(4)的相变温度；

红外加热炉(2)的盖板上开有通光孔(1)，红外加热炉(2)内设有 石英真空炉腔(3)，石英真空炉腔(3)内设有用于放置所述薄膜材料(4) 的石英样品架(9)且石英样品架(9)位于通光孔(1)的正下方，在通光 孔(1)的上方放置有激光器(10)和光电探测器(11)，所述薄膜材料(4) 位于激光器(10)出射光路上，光电探测器(11)位于所述薄膜材料(4) 对激光束的反射光路上；光电探测器(11)通过信号放大采集电路(12) 与数据处理器(14)相连，温度控制传感电路(13)的一端与加热炉(2) 电连接，另一端与数据处理器(14)相连；在激光器(10)与待测样品(4) 之间依次放置有分光镜(21)和滤光片(22)，滤光片(22)水平放置，以 消除来自加热炉中用于加热的包括红外光在内的外来噪声的干扰，使所述 光电探测器(11)接收的信号中无与温度有关的噪声光干扰信号光；分光 镜(21)与水平方向成45°角放置，激光器(10)发射的入射光(15)垂直 于水平方向入射至分光镜(21)；

温度控制传感电路(13)由温度控制电路和温度传感电路两部分组成： 温度控制电路采用PID控制环路电路，通过将目标温度值与反馈温度值的比 较产生相应的输出电流值来驱动加热炉的电源，产生相应的加热功率，控 制加热炉的升温区间和升温速率；

数据处理器(14)用于将由温度控制传感电路(13)获取的温度数据 与由信号放大与采集电路(12)获取的反射光功率数据进行数据关联，通 过插值处理实现温度数据与反射光功率数据的采样频率的协调，并通过系 统时间的标校实现采样起始时刻的一致，实现温度数据与反射光功率数据 的一一对应，得到反射光功率一温度曲线。