[发明专利]利用带电粒子研究或修改样品的装置

权利要求书

1.利用带电粒子对样品进行研究和/或修改的装置，所述样品具有样品 表面，所述装置包括：

a.带电粒子束(1，2)；

b.导电屏蔽元件(10)，具有用于使所述带电粒子束(1，2)穿过的开孔 (30)；

c.其中所述屏蔽元件以使所述屏蔽元件不接触所述样品的距离位 于所述样品上方；

d.其中在所述屏蔽元件和所述样品表面之间的距离小于50微米， 其特征在于，

e.所述屏蔽元件中的开孔(30)在至少一个方向上的尺寸小于50 微米。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述屏蔽元件还具有连接到气体 供给部的至少一个开孔。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述开孔(30)的直径d≤10μm。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述屏蔽元件(10)与所述样品表 面(20)之间的距离≤10μm。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述屏蔽元件(10)的所述开孔 (30)为圆形。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述粒子束(1)在所述样品表 面(20)上扫描，所述开孔(30)具有与所述表面(20)的被扫描部 分对应的形状。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述开孔(30)具有矩形、六角 形或三角形的形状。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述开孔(30)具有狭缝状的形 状，所述狭缝的宽度为d。

9.根据权利要求1所述的装置，包括针对用于对样品进行研究和/或 修改的多个粒子束(1，2)的一个或多个屏蔽元件(10)中的多个开 孔(30)。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述屏蔽元件(10)在一个或 多个所述开孔以外包括连续导电区域。