[发明专利]一种柔性薄膜太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性薄膜太阳能电池，其中包括如下结构：

用柔性聚合物薄膜构成的进光面衬底(21)，所述衬底可承受 大于200℃的温度；

在进光面衬底(21)上淀积氧化锌形成的第一电极层(22)；

在第一电极层(22)上由依次形成的p型、i型和n型非晶硅层 构成的光电转换层(23)；以及

在所述光电转换层(23)上淀积氧化锌形成的第二电极层(24)， 其中，第一电极层(22)和第二电极层(24)是采用低压化学气相 淀积(LPCVD)工艺在150℃-250℃的温度下淀积氧化锌形成的。

2.根据权利要求1所述的柔性薄膜太阳能电池，其中：

进光面衬底(21)由透光性大于80％的聚合物薄膜构成。

3.根据权利要求1或2所述的柔性薄膜太阳能电池，其中：

进光面衬底(21)的材料采用聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)或者 聚醚砜(PES)。

4.一种柔性薄膜太阳能电池，其中包括如下结构：

用柔性聚合物薄膜构成的背光面衬底(34)，所述衬底可承受 大于200℃的温度；

在背光面衬底(34)上淀积氧化锌形成的第三电极层(33)；

在第三电极层(33)上由依次形成的n型、i型和p型非晶硅层 构成的光电转换层(32)；以及

在所述光电转换层(32)上淀积氧化锌形成的第四电极层(31)， 其中，所述的第三电极层(33)和第四电极层(31)是采用低压化 学气相淀积(LPCVD)工艺在150℃-250℃的温度下淀积氧化锌形 成的。。

5.根据权利要求4所述的柔性薄膜太阳能电池，其中：

背光面衬底(34)的材料采用聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚 醚砜(PES)或者聚酰亚胺(Kapton)材料。

6.一种制造柔性薄膜太阳能电池的方法，其中包括如下步骤：

用柔性聚合物薄膜形成进光面衬底(21)，所述衬底可承受大 于200℃的温度；

在进光面衬底(21)上淀积氧化锌作为第一电极层(22)；

在第一电极层(22)上由依次形成的p型、i型和n型非晶硅层 作为光电转换层(23)；以及

在所述光电转换层(23)上淀积氧化锌作为第二电极层(24)， 其中，采用低压化学气相淀积(LPCVD)工艺在150℃-250℃的温 度下淀积氧化锌形成所述第一电极层(22)和所述第二电极层(24)。

7.根据权利要求6所述的制造柔性薄膜太阳能电池的方法，其 中：

采用透光性大于80％的聚合物薄膜构成进光面衬底(21)。

8.根据权利要求6或7所述的制造柔性薄膜太阳能电池的方法， 其中：

采用聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)或者聚醚砜(PES)构成进光 面衬底(21)。

9.一种制造柔性薄膜太阳能电池的方法，其中包括如下步骤：

用柔性聚合物薄膜形成背光面衬底(34)，所述衬底可承受大 于200℃的温度；

在背光面衬底(34)上淀积氧化锌作为第三电极层(33)；

在第三电极层(33)上由依次形成的n型、i型和p型非晶硅层 作为光电转换层(32)；以及

在所述光电转换层(32)上淀积氧化锌作为第四电极层(31)， 其中，采用低压化学气相淀积(LPCVD)工艺在150℃-250℃的温 度下淀积氧化锌构成所述第三电极层(33)和所述第四电极层(31)。

10.根据权利要求9所述的制造柔性薄膜太阳能电池的方法，其 中：

采用聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚醚砜(PES)或者聚酰亚 胺(Kapton)材料构成背光面衬底(34)。