[发明专利]载置台

权利要求书

1.一种载置台，为了对被检查体的电特性进行检查而载置所述被 检查体，所述被检查体具有被遍及下表面的外周缘部全周而形成的环 状突起包围的凹陷部，

所述载置台的特征在于，

具有：

具有所述被检查体的载置面的载置体；和

绝缘体，在其上可装卸地固定所述载置体，

所述载置体具有：

按照与所述被检查体的凹陷部嵌合，且所述载置面与所述被检查 体的下表面接触的方式形成的载置部；和

形成在所述载置部的外侧，且接受所述环状突起的环状平面部，

利用紧固部件使所述载置体在所述环状平面部处固定于所述绝缘 体，

所述载置体在所述载置面上形成有导体覆膜，在所述导体覆膜被 污染时更换所述载置体，

所述被检查体为TAIKO晶片。

2.如权利要求1所述的载置台，其特征在于：

所述载置体具有多个，每个载置体具有一个适合于所述被检查体 的凹陷部的载置部，所述载置部能够被更换，以对应于多个尺寸不同 所述被检查体。