[发明专利]物理气相沉积设备的清洗方法有效
| 申请号： | 200910195836.0 | 申请日： | 2009-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN102024659A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 黄平;陆一峰;叶青;张文展;贺天太 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B08B3/04;B08B3/08;C23C16/50;F26B7/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理 沉积 设备 清洗 方法 | ||
1.一种物理气相沉积设备的清洗方法，其特征在于，包括：
步骤1：使用能够溶解加热器或者反应腔内壁的金属膜的酸溶液，去除所述金属膜；
步骤2：采用去离子水清洗所述加热器或者反应腔内壁，并使用干燥空气或惰性气体吹干所述区域；
步骤3：采用易挥发的有机溶剂继续清洗所述加热器或者反应腔内壁，并使用干燥空气或惰性气体吹干所述区域；
步骤4：关闭反应腔，对反应腔内做干燥处理。
2.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备的清洗方法，其特征在于，所述的金属膜为铝膜，所述的酸溶液为硫酸或者盐酸溶液。
3.根据权利要求2所述的物理气相沉积设备的清洗方法，其特征在于，步骤1的清洗时间大于2分钟。
4.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备的清洗方法，其特征在于，所述的有机溶剂为异丙醇。
5.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备的清洗方法，其特征在于，步骤4中的干燥处理为在温度为270～330摄氏度的范围内烘干10小时以上。
6.一种物理气相沉积设备的清洗方法，其特征在于，包括：
步骤1：使用能够溶解加热器或者反应腔内壁的金属膜的酸溶液，去除所述金属膜；
步骤2：采用去离子水清洗所述加热器或者反应腔内壁，并使用干燥空气或惰性气体吹干所述区域；
步骤3：采用易挥发的有机溶剂继续清洗所述加热器或者反应腔内壁，并使用干燥空气或惰性气体吹干所述区域；
重复1～5次步骤2和步骤3；
步骤4：关闭反应腔，对反应腔内做干燥处理。
7.根据权利要求6所述的物理气相沉积设备的清洗方法，其特征在于，所述的金属膜为铝膜，所述的酸溶液为硫酸或者盐酸溶液。
8.根据权利要求7所述的物理气相沉积设备的清洗方法，其特征在于，步骤1的清洗时间大于2分钟。
9.根据权利要求6所述的物理气相沉积设备的清洗方法，其特征在于，所述的有机溶剂为异丙醇。
10.根据权利要求6所述的物理气相沉积设备的清洗方法，其特征在于，步骤4中的干燥处理为在温度为270～330摄氏度的范围内烘干10小时以上。
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