[发明专利]基板支撑、运送用托盘

权利要求书

1.一种对基板进行加热处理的装置，包括：

处理室(11)，

配置在该处理室内的基板支撑部件(2)，包括组成内部空间的顶棚壁和侧壁，在内部空间内提供对顶棚壁和侧壁进行加热的加热构件(4)；及

基板托盘(8)可卸下地附于支撑构件，并且包括延伸出该基板支撑部件的顶棚壁的顶部(8e)，并且与该基板支撑部件的顶棚壁的外表面热耦合，并且侧壁部(9)沿着该基板支撑部件的侧壁向下延伸并与该基板支撑部件的侧壁的外表面热耦合，并且该侧壁部被热连接到顶部，并且侧壁部的外周缘被配置成通过传递机器人的叉机械地支撑。

2.如权利要求1所述的装置，其中，加热构件产生被冲击到基板支撑部件的顶棚壁和侧壁的内表面上的电子，用以加热基板支撑部件。

3.如权利要求1所述的装置，其中，侧壁部的外周缘被提供径向向外延伸的环状部(10)。

4.如权利要求1所述的装置，进一步包括，安装在基板托盘的盖，该盖的外周被提供插入到基板托盘的侧壁部的外表面的钩挂阶梯部(6)。