[发明专利]显示用基板及其制造方法以及显示装置

权利要求书

1.一种显示用基板，其特征在于，具备：

支持基板、

形成于所述支持基板上的有机树脂层、

形成于所述有机树脂层上的透明电极；

所述透明电极包含第1层和第2层，所述第1层密合地形成于所述有机树脂层上，且包含添加有镓及/或铝的氧化锌，所述第2层形成于该第1层上，具有比所述第1层厚的层厚，且包含添加有镓及/或铝的氧化锌；

所述第1层通过直流溅射或直流磁控溅射而形成；

所述第2层通过高频溅射、高频磁控溅射、高频叠加直流溅射、高频叠加直流磁控溅射中的任何一种而形成；

所述第2层的电阻率小于所述第1层的电阻率。

2.根据权利要求1中所述的显示用基板，其特征在于：所述有机树脂层是滤色器层。

3.根据权利要求2中所述的显示用基板，其特征在于：具有由形成于所述滤色器层和所述透明电极之间的有机树脂构成的缓冲层，所述透明电极密合地形成于所述缓冲层上。

4.根据权利要求1中所述的显示用基板，其特征在于：所述透明电极还包含第3层，该第3层通过直流溅射或直流磁控溅射形成于所述第2层上，且包含氧化锌。

5.一种显示用基板，其特征在于，具备：

支持基板、

形成于所述支持基板上的有机树脂层、

形成于所述有机树脂层上的透明电极；

所述透明电极包含第1层和第2层，所述第1层密合地形成于所述有机树脂层上，且包含添加有镓及/或铝的氧化锌，所述第2层形成于该第1层上，具有比所述第1层小的电阻率，且具有比所述第1层厚的层厚，并包含添加有镓及/或铝的氧化锌。

6.根据权利要求5中所述的显示用基板，其特征在于：所述透明电极的电阻率低于4μΩ·m。

7.根据权利要求5中所述的显示用基板，其特征在于：所述有机树脂层包含滤色器层。

8.根据权利要求5中所述的显示用基板，其特征在于：所述透明电极的(101)面与(100)面的X射线衍射强度之比为0.05以下。

9.根据权利要求7中所述的显示用基板，其特征在于：具有由形成于所述滤色器层和所述透明电极之间的有机树脂构成的缓冲层，所述透明电极密合地形成于所述缓冲层上。

10.根据权利要求5中所述的显示用基板，其特征在于：所述透明电极包含形成于所述第2层上的包含氧化锌的第3层，该第3层的电阻率高于所述第2层的电阻率。

11.根据权利要求5中所述的显示用基板，其特征在于：具有形成于所述透明电极上的取向膜。

12.根据权利要求10中所述的显示用基板，其特征在于：所述透明电极的电阻率在7μΩ·m以下。

13.根据权利要求12中所述的显示用基板，其特征在于：所述透明电极的所述第1层的电阻率在7μΩ·m以上。

14.一种显示装置，其特征在于，具备：

TFT基板，其具有有机树脂层及形成于该有机树脂层上的第1透明导电层、

显示用基板，其具有由有机树脂构成的滤色器层及形成于该滤色器层上的第2透明导电层、

显示元件，其介于所述TFT基板和所述显示用基板之间；

所述第1透明导电层及所述第2透明导电层中的至少一方包含第1层和第2层，所述第1层密合地配设在所述有机树脂层或所述滤色器层上，且包含添加有镓及/或铝的氧化锌；所述第2层层叠在该第1层上，具有比所述第1层厚的层厚，且包含添加有镓及/或铝的氧化锌；

所述第1层通过直流溅射或直流磁控溅射而形成；

所述第2层通过高频溅射、高频磁控溅射、高频叠加直流溅射、高频叠加直流磁控溅射中的任何一种而形成；

所述第2层的电阻率小于所述第1层的电阻率。

15.根据权利要求14中所述的显示装置，其特征在于：所述第1透明导电层及所述第2透明导电层中的至少一方包含第3层，该第3层通过直流溅射或直流磁控溅射形成于所述第2层上，且包含氧化锌。