[发明专利]导线结构与其制作方法

说明书

技术领域

本发明是提供一种导线结构与其制作方法，特别是指一种低抗阻的导线结构与其制作方法。

背景技术

液晶显示器(liquid crystal display，LCD)由于具有外型轻薄、耗电量少以及无辐射污染等优点，因此被广泛应用于各种信息产品上，从小型的可携式信息产品，如个人数字助理(PDA)、笔记型计算机(notebook)，到各种大尺寸的显示屏幕，都可以见到液晶显示器的踪影。

一般的薄膜晶体管液晶显示器(TFT LCD)包含有一透明基板，其上具有许多排列成数组的薄膜晶体管、像素电极(pixel electrode)、互相垂直交错(orthogonal)的扫描线(scan or gate line)与信号线(data or signal line)、一滤光板(color filter)、以及填充于透明基板与滤光板之间的液晶材料，并配合以适当的电容、接触垫等电子组件，来驱动液晶像素，进而产生丰富亮丽的图像。但随着液晶显示器技术的进步和市场对大尺寸显示器的需求，不仅液晶显示器的尺寸越来越大，显示器的分辨率也越来越高，使得液晶显示器数组中导线的抗阻也跟着提高。导线抗阻的提高会使得显示器中信号延迟的问题越来越严重，也降低了显示器的显示质量。

公知降低显示器中导线抗阻的方法，除了开发低抗阻材料外，还可采用增加导线线宽的方式。增加线宽可增加导线的截面，因此可降低导线的抗阻而增加其导电度。但增加导线的宽度却会影响到整个像素显示的面积，因而降低显示器的开口率以及亮度。

因此，为了因应日益需求的大尺寸液晶屏幕，需要一种低抗阻导线的液晶显示器结构，以提升信号传递效率。

发明内容

本发明是提供一种导线结构与其制作方法，特别是指一种低抗阻的导线结构与其制作方法。

本发明提供一种低抗阻导线的结构，包含有一基板、一导线层、一绝缘层、两接触孔、一重掺杂半导体层以及二透明电极。其中，掺杂半导体层设置在导线层相对应的上方，两接触孔贯穿绝缘层并暴露出部分的导线层，两透明电极位于两接触孔中且电性连接导线层与重掺杂半导体层。

本发明还提供一种液晶显示器的制作方式，包含提供一基板，并于该基板上定义出一开关组件区、一导线区以及一像素区。接着于基板上形成一图案化的第一金属层，以分别在开关组件区形成一栅极，以及在导线区形成一第一导线。接着在基板上依序形成一绝缘层与一半导体层。然后在基板上形成一图案化的重掺杂半导体层，以在导线区形成一第二导线对应于第一导线之上。接着形成一图案化的第二金属层，以在开关组件区形成一源极与一漏极。于该基板上形成一保护层后，在于开关组件区的保护层中形成至少一第一接触孔，以暴露出部分的漏极，以及于导线区的保护层中形成至少两第二接触孔，以暴露出部分的第一导线。最后形成一图案化的透明电极于基板上，其包含一像素电极与至少两连接电极，其中像素电极在开关组件区内填入第一接触孔且与漏极电性连接并延伸至像素区，且各连接电极在导线区分别填入各第二接触孔以电性连接第一导线与第二导线。

本发明中提供一并联的导线结构，其抗阻值低于公知技术中单一导线的抗阻值，因此在液晶显示器中能有效降低抗阻以增加显示器的效能。

本发明还提供一种制作液晶显示器的方法，除了能形成低抗阻的导线结构外，还成功整合了公知薄膜晶体管的制程，因此维持了五道光罩与蚀刻的步骤，毋需增加额外的光罩制程，因此可节省相当的时间与费用。

附图说明

图1为本发明中液晶显示器布局的上视图；

图2为本发明中扫描线结构的剖面示意图；

图3至图10为本发明的扫描线结构的制造方法示意图。

【主要组件符号说明】

101    基板          309    重掺杂半导体层

103    薄膜晶体管    310    第二金属层

1031   栅极          311    透明电极

1032   源极          312    第一光阻层

1033   漏极          313    接触孔

105    像素电极      314    第二光阻层

107    扫描线        315    保护层

1071   第二扫描线    317    第一接触孔

109    数据线        318    第二接触孔

110    像素区域      320    透明电极