[发明专利]扫描线序号的标注方法和掩膜板

说明书

技术领域

本发明涉及液晶显示器技术，尤其涉及扫描线序号的标注方法和掩膜板。

背景技术

薄膜晶体管(TFT)阵列基板上的数据扫描线和栅极扫描线一般需要编上序号，以便生产过程中对数据扫描线和栅极扫描线进行辨识、以及在后续检修过程中准确定位各个像素点。

目前对于数据扫描线的序号进行标注的方法为：在进行栅极扫描线的掩膜构图工艺所采用的掩膜板上设有数字图形，这些数字图形需要预先设计在后续形成的数据扫描线旁边，并且数字部分不透光，这样就可以在栅极扫描线所在的层上形成金属的数字图案。由于形成的数字图案对应设在数据扫描线的旁边，在数据扫描线形成之后，除了数据扫描线金属层和栅金属层外，其他的材料都是透明的，这样就可以看到数据扫描线的旁边的数字，从而实现了对数据扫描线序号的标注。

如果需要对栅极扫描线序号进行标注，则可以在形成栅极扫描线的同时，在栅极扫描线旁边形成数字图案。

TFT-LCD(TFT液晶显示器)技术的迅猛发展，液晶面板的尺寸也在不断增大，各TFT-LCD的厂家纷纷建设新的生产线，以生产出更大尺寸的液晶面板，然而，要新建一条新的生产线，投资相当巨大。

为了节约新建生产线的成本，在目前的生产线上来生产较大尺寸的液晶面板成了一个行之有效的解决办法，下面举例说明在目前的生产线上来生产较大尺寸的液晶面板的办法。

图1所示的为一个制作栅极扫描线的掩膜板，图中的虚线界定出的局部曝光区域1、局部曝光区域2和局部曝光区域3，上述3个局部曝光区域内实线所表示的区域均为该掩膜板具有制作栅极扫描线所需图形的区域，该三个局部曝光区域之间的黑条用来遮光，以防止在采用其中一个局部曝光区域进行曝光时，遮光板不能准确地遮住其他两个局部曝光区域。其中，局部曝光区域1的左边和局部曝光区域3的右边的阴影部分是将栅极扫描线从像素区域中引出并集中的区域；局部曝光区域1右边的灰色部分、局部曝光区域2两侧灰色部分和局部曝光区域3左边的灰色部分为曝光可重叠的区域。

图2所示的为一个制作数据扫描线的掩膜板，和图1有如下不同：制作数据扫描线的掩膜板每个区域上方的阴影部分是将数据扫描线从像素区域中引出并集中的区域，但是没有了局部曝光区域1的左边和局部曝光区域3的右边的阴影部分。

假设以图1中的掩膜板制作栅极扫描线，其具体过程为：

如图3所示，首先采用该掩膜板的局部曝光区域1对沉积有栅金属的基板进行曝光，其曝光的区域见图中虚线界定的A部分；然后利用该掩膜板的局部曝光区域2对沉积有栅金属的基板进行曝光，其曝光的区域见图中虚线界定的B部分，并且曝光先后顺序为从左至右；最后利用该掩膜板的局部曝光区域3对沉积有栅金属的基板进行曝光，其曝光的区域见图中虚线界定的C部分。

在目前的生产线生产大尺寸的液晶面板过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：由于掩膜板的某一局部曝光区域需要利用多次，以便完成整块基板的曝光处理，如果这个时候在掩膜板直接设有数字图形，这将导致利用掩膜板同一局部曝光区域进行曝光的地方形成相同的序号，进而导致数据扫描线的序号是循环重复的，不能在不同区域形成具有区别的数据扫描线的序号，当液晶面板的尺寸较大时，就没有办法通过数据扫描线的序号准确定位像素点。

发明内容

本发明的实施例提供一种扫描线序号的标注方法和掩膜板，使得在不同区域形成具有区别的扫描线序号，以便于准确定位像素点。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一种扫描线序号的标注方法，包括：

(1)在对光刻胶进行曝光时，在扫描线对应位置的旁边形成线编号的光刻胶保留图案、以及光刻胶保留区域；

(2)在所述光刻胶保留区域打码形成区域编号的光刻胶保留图案；

(3)对经过曝光和打码的光刻胶进行显影处理，并刻蚀掉显影处理后露出的金属；

(4)剥离剩余的光刻胶以露出线编号和区域编号。

一种掩膜板，包括透光基板，所述透光基板上设有形成扫描线的图形区域，所述图形区域包括在扫描线对应位置旁边形成线编号的光刻胶保留图案的图形、以及在扫描线对应位置旁边形成光刻胶保留区域的图形。