[发明专利]静态随机存取存储器有效
| 申请号: | 200910056134.4 | 申请日: | 2009-08-07 |
| 公开(公告)号: | CN101989456A | 公开(公告)日: | 2011-03-23 |
| 发明(设计)人: | 黄艳;黄威森;顾一鸣 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号: | G11C11/412 | 分类号: | G11C11/412;H01L27/11 |
| 代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 牛峥;王丽琴 |
| 地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 静态 随机存取存储器 | ||
1.一种静态随机存储器,包括场效应晶体管PG_1的栅极空置,漏极接入一个位线BL,源极分别接入场效应晶体管PU_1的漏极和场效应晶体管PU_r的栅极;PG_r的栅极空置,漏极接入另一个位线BLB,源极分别接入场效应晶体管PU_r的漏极和场效应晶体管PU_1的栅极;场效应晶体管PU_1的源极接Vcc,漏极和栅极分别与场效应晶体管PD_1的漏极和栅极相连;场效应晶体管PD_r的源极接入Vss,漏极和栅极分别与场效应晶体管PD_1的漏极和栅极相连;场效应晶体管PU_r的源极接入电压Vcc,漏极和栅极分别与场效应晶体管PD_r的漏极和栅极相连;场效应晶体管PD_1的源极接入地Vss,漏极和栅极分别与场效应晶体管PD_r的漏极和栅极相连;
在布图时,场效应晶体管PG_1、场效应晶体管PG_r、场效应晶体管PU_1、场效应晶体管PU_r、场效应晶体管PD_1和场效应晶体管PD_r的源漏极作为有源区域,与场效应晶体管PG_1、场效应晶体管PG_r、场效应晶体管PU_1、场效应晶体管PU_r、场效应晶体管PD_1和场效应晶体管PD_r的栅极区域在图上有部分重叠,其特征在于,
接近场效应晶体管PG_1的栅极区域的有源区域图形的拐角区域为非直角结构,接近场效应晶体管PG_r的栅极区域的有源区域图形的拐角区域为非直角结构。
2.如权利要求1所述的静态随机存储器,其特征在于,所述非直角结构为楼梯结构。
3.如权利要求2所述的静态随机存储器,其特征在于,所述楼梯结构为接近场效应晶体管PG_1的栅极区域的有源区域图形的拐角区域去掉一个角,接近场效应晶体管PG_r的栅极区域的有源区域图形的拐角区域去掉一个角。
4.如权利要求3所述的静态随机存储器,其特征在于,所述去掉一个角在垂直方向上距离有源区域拐角区域为2~5纳米。
5.如权利要求1所述的静态随机存储器,其特征在于,所述非直角结构为圆弧形结构。
6.如权利要求5所述的静态随机存储器,其特征在于,所述圆弧形状为1/4圆。
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