[发明专利]颗粒自动控制方法及系统

权利要求书

1.一种颗粒自动控制方法，其特征在于，包括：

获取晶圆表面或工艺环境中颗粒的特性值；

设置颗粒个数的允许上限值；

计算信号值，所述信号值与颗粒个数和颗粒个数的允许上限值有关联；

根据信号值分析颗粒控制情况，在任意三个连续信号值中有两个为异常值，判定为颗粒超标。

2.根据权利要求1所述颗粒自动控制方法，其特征在于，所述计算信号值的步骤分为：

计算正数其中X为颗粒个数，n为颗粒个数的允许上限值；

设置信号值所述2为异常值，1和0为正常值。

3.根据权利要求1所述颗粒自动控制方法，其特征在于，所述根据信号值分析颗粒控制情况是采用SPC软件中WECO准则。

4.根据权利要求3所述颗粒自动控制方法，其特征在于，所述WECO准则设定μ±3σ为控制界限，其中，μ为所述产品的质量特性值的平均值，σ为所述产品的质量特性值的标准差。

5.根据权利要求4所述颗粒自动控制方法，其特征在于，所述控制界限μ±3σ之间的区域等分成六个分区域，所述六个分区域分别为μ+3σ与μ+2σ之间的第一区域A、μ-3σ与μ-2σ之间的第二区域A、μ+2σ与μ+σ之间的第一区域B、μ-2σ与μ-σ之间的第二区域B、μ+σ与μ之间的第一区域C和μ-σ与μ之间的第二区域C。

6.根据权利要求5所述颗粒自动控制方法，其特征在于，所述信号值Z＝2是位于第一区域A和第二区域A内的，信号值Z＝1是位于第一区域B和第二区域B内的，信号值Z＝0是位于第一区域C和第二区域C内的。

7.一种颗粒自动控制系统，其特征在于，包括：

获取单元，获取晶圆表面或工艺环境中颗粒的特性值；

设置单元，设置颗粒个数的允许上限值；

计算单元，计算信号值，所述信号值与颗粒个数和颗粒个数的允许上限值有关联；

分析单元，根据信号值分析颗粒控制情况，在任意三个连续信号值中有两个为异常值，判定为颗粒超标。

8.根据权利要求7所述颗粒自动控制系统，其特征在于，所述计算单元包括：

第一计算单元，计算正数其中X为颗粒个数，n为颗粒个数的允许上限值；

第一设置单元，设置信号值所述2为异常值，1和0为正常值。

9.根据权利要求7所述颗粒自动控制系统，其特征在于，所述分析单元为SPC软件中WECO准则。

10.根据权利要求9所述颗粒自动控制系统，其特征在于，所述WECO准则设定μ±3σ为控制界限，其中，μ为所述产品的质量特性值的平均值，σ为所述产品的质量特性值的标准差。

11.根据权利要求10所述颗粒自动控制系统，其特征在于，所述控制界限μ±3σ之间的区域等分成六个分区域，所述六个分区域分别为μ+3σ与μ+2σ之间的第一区域A、μ-3σ与μ-2σ之间的第二区域A、μ+2σ与μ+σ之间的第一区域B、μ-2σ与μ-σ之间的第二区域B、μ+σ与μ之间的第一区域C和μ-σ与μ之间的第二区域C。

12.根据权利要求11所述颗粒自动控制系统，其特征在于，所述信号值Z＝2是位于第一区域A和第二区域A内的，信号值Z＝1是位于第一区域B和第二区域B内的，信号值Z＝0是位于第一区域C和第二区域C内的。