[发明专利]制作斥液性挡墙的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种制作斥液性挡墙的方法，特别是涉及一种在基板图案化后 定义亲斥水性的方法，其在黄光工艺中加入斥液膜工艺，使得经黄光工艺所制 作的图案化光阻表面为斥液性，由于基板与光阻表面具表面能的差异，有利液 滴的喷印达到自我定位与互不混墨的效果。

背景技术

近年来，随着计算机与信息网络的进步，显示器扮演着不可或缺的角色。 在新一代的显示器中，尤其以有机电激发光(Organic Electro-Luminescence， OEL)受到更多的重视，其主要分成两种系统，一种是小分子系统的有机发光 二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)，另一种是以共轭高分子为材 料的电激发光二极管(Polymer Light-Emitting Diode，PLED)。PLED相较于 OLED的优势在于工艺成本较低，耐热性较佳，耗电较低，且具有溶液特性， 可以用喷墨印制(Ink Jet Printing)技术直接将红、蓝、绿三原色喷在像素上， 比传统用旋转涂布(spin-coating)的方法更为简单，且可大面积制作。然而， 在喷墨的工艺中，红、蓝、绿三原色喷墨位置的重复对位的高精准度不易达成， 使得PLED发展脚步较慢，为达到喷印液滴自我定位、不互混墨的目的，需要 对基板表面做差异性处理。

一般显示器对基板表面处理方式，是先对基板图案化，定义出墨滴欲定位 的位置，之后于定位点之间制作挡墙，如图1所示。图1挡墙结构以一般现有 的微影蚀刻工艺，在基板上10形成多个档墙(bank)11。之后再对图案化后 的基板10表面做亲液性处理以形成一亲液层12，而对挡墙11表面做斥液性 处理以形成一斥液层13。如此一来，墨滴会因为表面差异性而形成于图案化 基板上，且因为表面张力和挡墙11的缘故，不会溢流到其它墨色的区域。

为使喷印液滴达到自我定位、不互混墨的目的，目前已有若干现有技术。

美国专利US 7015503提出一薄膜图案化基材，于一玻璃基板上，制造一 无机材料挡墙，用电浆技术对表面进行改质，让基材表面具亲液性，而让挡墙 的上表面具斥液性，达到不互相混墨的效果。

美国专利US 20060115749提出在挡墙制作后，先全部覆盖一层亲水材料， 之后在于挡墙上覆盖一层斥水材料，其缺点是工艺较为繁琐。

美国专利US20070066080提出一种使表面具亲斥液性差异的方法，使用 含有无机微粒的光阻于基板上制作一高分子档墙，并配合电浆处理，使基板与 挡墙有亲斥水性差异。

美国专利US7172842提出一彩色滤光片的制作方法，于无机或有机基板 上形成一挡墙，先沉积一亲液膜，之后用印压方式沉积一斥液膜于挡墙的上表 面，达到不互相混墨的效果。虽然此专利可适用于塑料基板上，但仍需制作挡 墙的步骤，其工艺较为繁琐。

美国专利US20070212621提出一种使表面具亲斥液性差异的方法，使用 两种亲斥液性不同干膜堆叠的方法，再配合黄光工艺制作，使基板与挡墙有亲 斥水性差异。

美国专利US6399257提出一种使表面具亲斥液性差异的方法，使用含有 TiO₂、SnO₂、ZnO、WO₃、SrTiO₃、Bi₂O₃或Fe₂O₃的光阻材料，使得光阻材料 在紫外光照射后，产生亲斥水的差异，此专利虽可利用照光产生亲斥水的差异， 但若需要挡墙结构，仍需另外制作。再者，此一含有TiO₂、SnO₂、ZnO、WO₃、 SrTiO₃、Bi₂O₃或Fe₂O₃的光阻材料，必需要高温烧结(＞400℃)才具有照光 产生亲斥水的特性。

因此，本发明提供一种制作斥液性挡墙的方法，其在黄光工艺中加入斥液 膜工艺，使得经黄光工艺所制作的图案化光阻表面为斥液性，由于基板与光阻 表面具表面能的差异，有利液滴的喷印达到自我定位与互不混墨的效果。

发明内容