[发明专利]紫外线照射装置及紫外线照射处理装置有效
| 申请号： | 200910004700.7 | 申请日： | 2009-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN101527255A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 远藤真一;菅敏幸;石原肇 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/268;B08B7/00;H01L21/312;G03F7/26 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 紫外线 照射 装置 处理 | ||
1.一种紫外线照射装置，其具有：多个准分子灯，所述准分子 灯是在放电容器内形成的密闭空间中封入放电气体、并且隔着该密闭 空间在上述放电容器的外表面形成有一对电极的准分子灯；灯罩，包 围该多个准分子灯并在垂直方向的一个方向开口；及气体供给机构， 用于将非活性气体供给该灯罩的内部，该紫外线照射装置的特征为：
在上述灯罩内，空间封闭体被配置于由上述准分子灯所占有的空 间以外的空间。
2.如权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，
在互相邻接的上述准分子灯之间配置有上述空间封闭体，而该空 间封闭体的基端部被固定于上述灯罩的顶部。
3.如权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，
上述空间封闭体被配置于上述准分子灯的中心轴上，而互相地邻 接的上述准分子灯的各个发光区域，重叠在与上述准分子灯的中心轴 正交的假想直线上。
4.如权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，
上述紫外线照射装置具有用于将上述准分子灯固定在上述灯罩 内的支撑体，并对于该支撑体固定有上述准分子灯与上述空间封闭体 的两者。
5.一种紫外线照射处理装置，其特征在于，
具有如权利要求1至4中任一项所述的紫外线照射装置，并且具 有向与上述准分子灯的中心轴正交的方向运送被处理体的运送机构。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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