[实用新型]用在塑材上溅射金属中定位的夹具有效
申请号: | 200820199343.5 | 申请日: | 2008-11-26 |
公开(公告)号: | CN201317806Y | 公开(公告)日: | 2009-09-30 |
发明(设计)人: | 林政乾 | 申请(专利权)人: | 柏霆(苏州)光电科技有限公司;柏腾科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 孙仿卫 |
地址: | 215011江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 塑材上 溅射 金属 定位 夹具 | ||
1、一种用在塑材上溅射金属中定位的夹具,该夹具用于将塑材工件(3)在进行真空溅射金属沉积薄膜工艺中进行定位,所述的塑材工件(3)包括镀膜区和非镀膜区,其特征在于:该夹具包括上框(1)、底座(2)、遮蔽装置、真空离子减弱装置,所述的底座(2)上设置有用于将所述的塑材工件(3)定位在其上的定位装置,所述的底座(2)和上框(1)上设置有相互配合作用的定位机构,该定位机构能对所述的底座(2)和上框(1)之间进行定位;所述的遮蔽装置用于对所述的塑材工件(3)的非镀膜区进行遮蔽,所述的遮蔽装置的尺寸和位置与所述塑材工件(3)上的非镀膜区的尺寸和位置相对应;所述的真空离子减弱装置用来减弱金属离子对所述的塑材工件(3)上的镀膜区的较薄弱易产生变形部位的溅射。
2、根据权利要求1所述的用在塑材上溅射金属中定位的夹具,其特征在于:所述的定位装置包括设置在所述的底座(2)上的多个定位销(7),所述的多个定位销(7)与所述的塑材工件(3)上的多个圆孔相配合,当所述的塑材工件(3)定位在所述的底座(2)上时,所述的各定位销(7)分别插在所述塑材工件(3)的相应圆孔内。
3、根据权利要求1所述的用在塑材上溅射金属中定位的夹具,其特征在于:所述的定位机构包括设置在底座上的至少一组角形立柱(4),该角形立柱(4)的内侧面形成一光滑的内弧面(5),所述的上框(1)在位于与所述角形立柱(4)相对应的位置设置有外弧面(6),当所述底座(2)与上框(1)相配合作用时,所述内弧面(5)、外弧面(6)相贴紧。
4、根据权利要求1所述的用在塑材上溅射金属中定位的夹具,其特征在于:在所述的遮蔽装置中,一部分遮蔽装置是一体设置在所述的上框(1)的,另一部分遮蔽装置为独立设置。
5、根据权利要求1所述的用在塑材上溅射金属中定位的夹具,其特征在于:所述的真空离子减弱装置包括遮蔽块(10)、遮蔽隔离网(11),所述的真空离子减弱装置设置在所述的塑材工件(3)上的镀膜区的较薄弱易产生变形部位的上方。
6、根据权利要求1所述的用在塑材上溅射金属中定位的夹具,其特征在于:所述的遮蔽装置上设置有斜向引导角(15)。
7、根据权利要求1所述的用在塑材上溅射金属中定位的夹具,其特征在于:所述的底座(2)下设置有多个支撑装置,所述的支撑装置包括支撑柱(12)、支撑块(13),所述的支撑块(13)套在所述的支撑柱(12)上用于支撑所述的底座(2)。
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