[实用新型]一种多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉，它包括带有冷却水腔的炉体、底盘、底盘下的进气管和排气管、硅棒和底盘上的电极，其特征在于：所述的炉体包括炉体内筒(6)、焊接在炉体内筒(6)顶部的内筒封头(25)、焊接在炉体内筒(6)底部的容器法兰(22)和通过快拆螺栓与容器法兰(22)底部连接的底盘(9)，且炉体内筒(6)、内筒封头(25)、容器法兰(22)和底盘(9)形成炉体内腔体(23)，炉体内筒(6)外套有炉体夹套(7)，炉体夹套(7)顶部焊接夹套封头(26)，炉体内筒(6)和炉体夹套(7)底部焊接在容器法兰(22)上，炉体内筒(6)、炉体夹套(7)、夹套封头(26)和容器法兰(22)形成炉体冷却水腔(4)；底盘(9)上的硅芯电极(10)为十五对，一对电极含一个正电极(10a)和一个负电极(10b)，十五对电极在底盘(9)上沿三个圆周均布设置，即形成三圈电极，外圆周均匀设置九对电极，内圆周和中间圆周上分别均匀设置三对电极，每一周上的正电极(10a)和负电极(10b)均匀间隔设置，在中间圆周和内圆周上的电极逐一交错连接设置。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉，其特征在于：所述的炉体冷却水腔(4)内设有与炉体内筒(6)外壁焊接、与炉体夹套(7)内壁间留有间隙的炉体冷却导流板(5)，炉体内筒(6)和炉体夹套(7)的侧壁从上至下分布三个观察视镜(24)，从观察视镜(24)够观察到炉体内腔体(23)内硅棒(3)的整体情况，炉体夹套(7)的侧壁外底部设有与炉体冷却水腔(4)相通的炉体冷却水腔进水口(8)，夹套封头(26)顶部中间设有与炉体冷却水腔(4)相通的炉体冷却水腔出水口(1)。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉，其特征在于：所述的底盘(9)包括底盘上底板(21)、底盘法兰(20)、底盘下底板(18)、冷却水进口(14)和底盘冷却水出口(15)，底盘上底板(21)的底部与底盘法兰(20)焊接，底盘法兰(20)与底盘下底板(18)焊接，且底盘上底板(21)、底盘法兰(20)和底盘下底板(18)形成底盘水冷却腔(19)，冷却水进口(14)为双层套管，冷却水进口(14)的内层管一端贯穿底盘上底板(21)和底盘下底板(18)、且与炉体内腔体(23)相通，起反应气体出口的作用，冷却水进口(14)的外层管一端与底盘水冷却腔(19)相通，起到冷却水进口的作用；冷却水进口(14)的另一端悬置在底盘下底板(18)底部；反应气体进气喷嘴(17)共七个，其中，一个喷嘴(17)设置在底盘(9)中心位置，其余六个喷嘴(17)位于外圆周电极和中间圆周电极之间，且喷嘴(17)方位与内圆周上电极的分布一致，同时六个喷嘴沿同一圆周均布设置在底盘(9)上，冷却水进口(14)、同时也是反应气体出口，设置在邻近底盘(9)中心的位置处。