[实用新型]一种压力控制装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及微电子技术领域，特别是涉及一种用于控制蚀刻机台腔室压力的压力控制装置。

背景技术

在蚀刻技术中，为了保持腔室内的气体压力稳定，需要对腔室内的气体压力进行控制。如图1所示，TEL蚀刻机台的腔室1通过主控制气动阀4(Main T01(Fast pump down))和次控制气动阀5(Cont T02(Slow pumpdown))与干泵8相连接，而腔室内气体压力的稳定是通过压力控制阀2和次控制气动阀5控制回路来实现的。采用此控制回路时的腔室压力变化图如图2所示，当腔室内的气体压力发生变化时，由于采用次控制气动阀时的抽压效率较低，所以此时腔室内的压力就会有较大起伏，气压不稳就有可能形成绕流，影响产品合格率。而通过比较采用上述主控制气动阀和次控制气动阀时的抽压效率，得出的结论是采用主控制气动阀时的抽压效率是采用次控制气动阀时的3倍。

发明内容

针对现有技术的缺陷，本实用新型的目的是提出一种用于控制蚀刻机台腔室压力的压力控制装置。

为了达到本实用新型的上述目的，本实用新型提出一种压力控制装置，包括：与腔室相连的压力控制阀，与压力控制阀连接的第一气动阀，连接腔室的主控制气动阀和次控制气动阀，通过第二气动阀连接腔室的气压计，上述压力控制阀与上述气压计形成信号通路，上述第一气动阀与上述主控制气动阀之间也形成有信号通路。

在上述装置中，主控制气动阀和次控制气动阀的另一端连接干泵。

在上述装置中，通过上述第一气动阀和压力控制阀通入气体。

在上述装置中，上述腔室连接有用以通入气体的第三气动阀。

在上述装置中，上述腔室通过第四气动阀与泄气阀相连接。

与现有技术相比，由于本实用新型采用了压力控制阀PCV和主控制气动阀及次控制气动阀控制回路来控制腔室的气体压力，抽压(泵数)效率有所提升，因此当腔室内的气体压力发生变化时，其起伏较小，从而能更好地维持住腔室内的气体压力，减少蚀刻机因此原因而停止工作的情况。

附图说明

图1为现有的一种压力控制装置的实施例示意图。

图2为现有的一种压力控制装置的腔室压力变化示意图。

图3为本实用新型的一种压力控制装置的优选实施例示意图。

图4为本实用新型的一种压力控制装置的优选实施例的腔室压力变化示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明。

如图1所示，一种用于控制腔室压力的压力控制装置，包括：与腔室1相连的压力控制阀PCV 2，与压力控制阀PCV 2连接的第一气动阀3，连接腔室1的主控制气动阀4(Main T01)和次控制气动阀5(CONT T02)，通过第二气动阀6连接腔室1的气压计CM 7，上述压力控制阀PCV 2与上述气压计CM 7形成信号通路，上述第一气动阀3与上述主控制气动阀4之间也形成有信号通路，主控制气动阀4和次控制气动阀5的另一端连接干泵8，氮气通过上述第一气动阀3和压力控制阀2输入到腔室1中，氮气还可通过第三气动阀9输入到腔室1中，泄气阀11通过第四气动阀10与腔室1相连，对流式气压计CV 12也与腔室1相连。

氮气输入管路分为两路，一路通过第三气动阀9与腔室1相连通，另一路通过第一气动阀3以及压力控制阀2与腔室1相连通，与腔室相连的气压计CM 7测量腔室内的气体压力并发送信号给压力控制阀PCV2，压力控制阀PCV 2根据接收到信号向主控制气动阀4发出相应的单向控制信号，主控制气动阀4根据接收到的信号来控制其所控制的管路的抽压速率。

当腔室1的隔离门GATE DOOR开关时，腔室内的气体压力就会发生变化，压力控制阀PCV 2根据接收到的信号向主控制气动阀4(MainT01)发出相应的单向控制信号，或加快抽压或放慢抽压，由于采用主控制气动阀4(Main T01)时的抽压速率高，因此抽压速率的可控范围比采用次控制气动阀5(CONT T02)时更大。这样将主控制气动阀4(Main T01)及次控制气动阀5(CONT T02)联合起来一起使用，就能更及时快速地执行控制信号所要求的动作，因而能很好地维持住腔室内气体压力的相对平稳。