[实用新型]工件卡具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种工件卡具，更具体而言，涉及一种用于物理气相沉积且能更好降低工件温度的卡具。

背景技术

在物理气相沉积中有些工件由于受其材质或者是制成工艺的限制不能承受沉积时的高温，传统的方法是使用带有水冷装置的工件卡具用以降低工件的温度，但制造成本高和操作性能差等缺点极大程度限制了这种工件卡具的应用。

实用新型内容

本实用新型提供了一种用于物理气相沉积且能更好降低工件温度的卡具。

本实用新型提供的工件卡具，其特征在于，包括：金属基座、金属挡片、绝热层和安装孔，金属基座上设有用于装卡工件的沟槽，金属基座除沟槽以外的表面上覆盖绝热层，金属基座底部设有金属挡片，金属挡片不与工件接触的一面上设有绝热层，金属基座上设有安装孔。

所述的工件卡具，其特征在于，所述金属基座由选自铝、铜或铁的一种高比热材料组成。

所述的工件卡具，其特征在于，所述沟槽中的各面与工件表面紧密接触。

所述的工件卡具，其特征在于，所述绝热层为玻璃纤维或耐火纤维。

本实用新型提供的工件卡具优点在于基座由高比热材料组成，可以在吸收相同热量的情况下具有较低的温升。金属基座上覆盖的绝热层可以更好的隔绝来自外界的热量。与传统的带有水冷装置的工件卡具相比，具有制造成本低、操作性高的优点。

附图说明

图1A和图1B是依据本实用新型的实施例1的工件卡具结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述：

实施例1：

如图1A、图1B所示，金属基座1由铝材制成，其上设有沟槽2和安装孔4。沟槽中可装卡工件5，且工件为经加工硬化的铝制散热片。金属挡片6由铝材制成，用于支撑工件。金属基座除沟槽以外的表面上设有绝热层3，金属挡片不与工件接触的一面上设有绝热层。绝热层由玻璃纤维制成。通过安装孔可将多个卡具连接并装卡到物理气相沉积设备的工件架上。

此卡具装卡的铝制散热片，在经过电弧沉积30分钟的镍层后，硬度没有下降。

实施例2：

如实施例1中所述的工件卡具，其中金属基座1和金属挡片6由铜材制成。

此卡具装卡的铝制散热片，在经过电弧沉积30分钟的镍层后，硬度没有下降。

对比例1：

采用金属弹簧片装卡的铝制散热片，在经过电弧沉积30分钟的镍层后，硬度大幅下降。