[实用新型]工件卡具无效
| 申请号： | 200820122496.X | 申请日： | 2008-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN201313932Y | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 张云龙;徐健;程云立;承高建 | 申请（专利权）人： | 北京东方新材科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100085北京市海淀区上地*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工件 卡具 | ||
【权利要求书】：
1、一种工件卡具，其特征在于，用于物理气相沉积且能更好降低工件温度，该卡具包括：金属基座、金属挡片、绝热层和安装孔，金属基座上设有用于装卡工件的沟槽，金属基座除沟槽以外的表面上覆盖绝热层，金属基座底部设有金属挡片，金属挡片不与工件接触的一面上设有绝热层，金属基座上设有安装孔。
2、根据权利要求1所述的工件卡具，其特征在于，所述金属基座由选自铝、铜或铁的一种高比热材料组成。
3、根据权利要求1所述的工件卡具，其特征在于，所述沟槽中的各面与工件表面紧密接触。
4、根据权利要求1所述的工件卡具，其特征在于，所述绝热层为玻璃纤维或耐火纤维。
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