[实用新型]软轴单晶硅炉有效
| 申请号： | 200820080642.7 | 申请日： | 2008-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN201195765Y | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 张志新;王军;安桂正 | 申请（专利权）人： | 北京京运通科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 闫立德 |
| 地址： | 100044北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶硅 | ||
【权利要求书】：
1.一种软轴单晶硅炉，主要由炉体、底座、晶体旋转机构、晶体提升机构、坩埚传动装置和真空抽气泵所组成，其特征在于：炉体位于底座上端，炉体上端设有炉盖，炉盖上端设有翻板阀，翻板阀上端为副室，副室上端设有晶体旋转机构和晶体提升机构，受晶体旋转机构和晶体提升机构控制的钢丝吊绳一端穿过副室和翻板阀及炉盖与位于炉膛内的重锤上端相接，翻板阀通过抽气阀门和抽气管连通真空抽气泵，炉体通过抽气管道和除尘筒连通真空抽气泵，副室和炉体侧边的支架上设有立柱，立柱上设有分段开启副室和炉盖的开启装置。
2.按权利要求1所述的软轴单晶硅炉，其特征在于：所述的开启装置由立轴、轴套、上下限位开关、副室升降支架、炉盖升降支架和液压装置所组成，立轴通过轴套与立柱轴接，立轴下端设有液压装置，副室升降支架的一端连接副室侧壁，另一端连接对应段的立轴，炉盖升降支架的一端连接炉盖，另一端连接对应段的立轴，在副室升降支架下端的立轴上设有上限位开关，在炉盖升降支架下端的立轴上设有下限位开关。
3.按权利要求1所述的软轴单晶硅炉，其特征在于：所述的翻板阀侧面设有观察口。
4.按权利要求1所述的软轴单晶硅炉，其特征在于：所述的坩埚转动装置位于炉体下端。
5.按权利要求1所述的软轴单晶硅炉，其特征在于：所述的底座侧边设有水汇管道支架。
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