[发明专利]一种高光学质量硒化锌的制备方法有效
| 申请号： | 200810246543.6 | 申请日： | 2008-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN101759161A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 苏小平;王铁艳;张福昌;霍承松;魏乃光;赵永田;鲁泥藕;付利刚 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;北京国晶辉红外光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B19/04 | 分类号： | C01B19/04 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 童晓琳 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光学 质量 硒化锌 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种高光学质量硒化锌的制备方法，采用化学气相沉积工艺，其特征在 于，该方法步骤为，
(1)将锌放入沉积炉内；
(2)通过真空泵对沉积炉抽真空，使真空度为1×104～5×104Pa；
(3)将沉积室升温至450～600℃，锌融化并蒸发后，继续升温至650～800℃， 并保温；
(4)以氩气作为反应原料气体H2Se的携带气体，通过质量流量计将H2Se气体 按照设定值0.5～2L/min、氩气按照5～20L/min的流量通入沉积室中，锌与H2Se 的摩尔比为0.8～1.2，沉积室内壁发生沉积反应，硒化锌开始生长；
(5)每隔一个小时检测一次Zn的蒸发量，通过调节质量流量计使得H2Se与锌 的摩尔比保持不变，随时监测沉积室的压力，通过调整真空泵的抽气速率，保持 进/出沉积室气体总量不变，沉积室内压力恒定，沉积时间为15～25天，然后以 0.1～0.5℃/min的降温速率降至室温，得到高光学质量的硒化锌。
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