[发明专利]基板移载装置及方法

说明书

【技术领域】

本发明关于一种基板移载装置及方法，特别是关于制程机台的制作过程 中的基板移载装置及方法。

【背景技术】

液晶显示器现已广泛应用于监视器、笔记型计算机、数字相机及投影机 等具成长潜力的电子产品，在液晶显示面板的制造过程中，需经多道制程 将显示面板的电路制作于玻璃基板上。玻璃基板主要应用在平面显示器上 的薄膜晶体管及彩色滤光片二处。在液晶显示面板制作过程中，玻璃基板 需经过抛光、研磨等加工步骤，以去除不必要的应力集中现象，进而确保 玻璃基板的品质。

图1显示一已有的玻璃基板移载装置的示意图，其是应用于玻璃基板研 磨后的传送，且主要是利用真空吸取方式移送玻璃基板。为求图式简洁， 图1仅绘示相关的主要构件，而以示意图方式表示。

玻璃基板移载装置10包含移载杆11、捞爪12、载台13及传送杆 (Conveyor)14。玻璃基板移载装置10包含3个移载杆11，各移载杆11 上设有复数个均匀分布的真空吸孔16，用以吸附玻璃基板15。捞爪12用 以夹取玻璃基板15的两侧，进一步确保玻璃基板15不致掉落。移载杆11 搭配捞爪12将置放于载台13的玻璃基板15拾起后，移动至传送杆14上 方，之后将玻璃基板15置放于传送杆14上，完成将玻璃基板15自载台 13换载至传送杆14。之后，输送杆14再将玻璃基板15传送至后续机台， 继续液晶显示面板的制作。

如前述，移载杆11是采用真孔吸孔16的设计，用以吸取玻璃基板15。 因此，真空吸孔16必须另外搭配真空帮浦及相关配管(图未示)，以产生 真空吸附的效果。

随着世代演进，目前玻璃基板15的尺寸相当庞大，且仍将逐渐加大其 尺寸。因此，需要利用龙门机构驱动移载杆11及捞爪12，以将玻璃基板 15移送至传送杆14之上。如此一来，以捞爪搭配真空吸附方式移载玻璃 基板15所需的机构不仅庞大而且复杂，而将增加玻璃基板15破片的可能 及机构的建置成本。

【发明内容】

为解决上述问题，本发明提供一种基板移载装置，可简化移载机构的复 杂度，进而有效降低相关机构的建置成本，且可降低因机器故障造成基板 毁损的机率。

本发明揭示一种基板移载装置，其主要包含一载台及一移载机构。该载 台具有至少一承载面，以承载自制程机台送出的基板(例如玻璃基板)，该 移载机构具有至少一移载面，并利用移载机构的移载面与载台的承载面之 间于垂直于该移载面的垂直方向交错移动，将该基板自该载台换载至该移 载机构。

本发明的基板移载方法可大致归纳为包含以下步骤：首先，将基板自制 程机台移载至载台，且该基板是由该载台包含的一承载面承载。之后利用 移载机构的一移载面与该载台的承载面之间于垂直于该移载面的垂直方 向交错移动，将该基板自该载台换载至该移载机构上。

【附图说明】

图1是现有的基板移载装置的示意图。

图2是本发明的基板移载装置之上视示意图。

图3至6是本发明一实施例的基板移载装置于各运作步骤的状态示意 图。

图7是本发明另一实施例的基板移载装置的移载机构。

图8是本发明一实施例的基板移载方法的流程示意图。

【主要组件符号说明】

10  玻璃基板移载装置    11  移载杆

12  捞爪                13  载台

14  传送杆              15  玻璃基板

16  真空吸孔

20  基板移载装置        21  制程机台

22  基板                23  载台

24  移载机构            25  承载面

26  移载面              231 侧杆

232 中央杆              241 传送杆

242 传送带              S81~S84步骤

【具体实施方式】

以下将搭配图式详细说明本发明的基板移载装置及方法的技术特征。以 下实施例的基板是关于液晶显示面板的应用，特别是关于液晶显示面板制 作过程中，玻璃基板经研磨后的相关移载技术。但是以下实施例仅是例示， 并不限制本发明的请求范围。