[发明专利]基板移载装置及方法有效
| 申请号： | 200810186813.9 | 申请日： | 2008-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN101428708A | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 余圣智;刘佳欣 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G47/04;B65G47/74;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 郭 蔚 |
| 地址： | 台湾省新竹科学*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种基板移载装置，其主要包含一载台及一移载机构。该载台具有一承载面，该移载机构具有一移载面。该载台承载自制程机台送出的基板，利用移载机构的移载面与载台的承载面之间于垂直于该移载面的垂直方向交错移动，该基板自该载台换载至该移载机构。一实施例中，利用该载台与移载机构水平向相互移动，将该基板移至该移载机构上方，以将该基板自该载台换载至该移载机构。 | ||
| 搜索关键词： | 基板移载 装置 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种基板移载装置，包含：一载台，具有至少一承载面，该承载面承载一基板；以及一移载机构，具有至少一移载面，该移载面用以承载和移动该基板，该承载面与该移载面之间于垂直于该移载面的一垂直方向交错移动，将该基板自该载台换载至该移载机构。
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