[发明专利]运输设备、运输系统以及伸长机构

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于在轨道部上运输诸如用于制造半导体装置的 各种衬底或类似物体的运输物体的运输设备、包括所述运输设备和所 述轨道部的运输系统、以及用于所述运输设备的伸长机构。在此，所 述“运输物体”指产品、中间产品、部件、商品、工件、半成品货物、 货物或类似物体，或者指通过所述设备已运输的或待运输的用于容纳 这种产品或类似物体的盒子或容器。

背景技术

作为这种类型的运输设备，存在一种OHT(高架悬挂运输)类型的运 输设备，这种运输设备在轨道部上行进(travel)，并安装在天花板上 或其附近。此外，存在一种能运送或承载运输物体的、并非设置在轨 道部下方，即设置在轨道部的侧面的运输设备(必要时在下文中称作 “横向运送”)。

例如，日本专利申请特开NO.Hei11-180505公开了一种通过提供在 运输车架下部的运送装置允许横向运送的技术，其中该运送装置能在 水平表面上移动。此外，日本专利申请特开NO.2005-206371公开了一 种通过在运输车架的横向侧上提供天花板缓冲设备，并通过将升降机 移至天花板缓冲设备，允许横向运送的技术。此外，日本专利申请特 开NO.2006-282303公开了一种通过提供轨道的横向侧上的物体放置台 允许横向运送的技术。

在这些专利文献中公开的运输设备设置有伸长机构，该伸长机构 用于利用齿轮、齿条、小齿轮、马达和类似部件在执行横向运送时机 械地横向伸长承载装置。

该伸长机构应当执行上述横向运送，在伸长时能够以足够的长度 和足够的强度延伸，同时这种机构被制造得足够小以在未伸长时不会 干涉运输设备的行进，然而，存在技术上难以制造这种伸长机构的技 术问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种能减小尺寸并允许横向运送的 运输设备、设置有所述运输设备的运输系统、以及用于所述运输设备 的伸长机构。

本发明的以上目的能通过一种运输设备实现，所述运输设备设置 有：行进装置，其在轨道部上行进；以及运输装置，其具有：主体装 置，其安装在所述行进装置上；承载装置，其能沿伸长方向从所述主 体装置向所述轨道部的一侧伸长，并且所述承载装置能承载运输物体； 以及伸长机构，其用于沿伸长方向伸长所述承载装置，所述伸长机构 设置有：固定至所述主体装置的第一齿条和固定至所述承载装置的第 二齿条，所述第一齿条和所述第二齿条分别沿伸长方向延伸并通过其 之间的空间彼此面对；以及啮合所述第一齿条的第一小齿轮，啮合所 述第二齿条的第二小齿轮，以及在所述第一和第二小齿轮之间啮合的 奇数个第三小齿轮，所述第一、第二和第三小齿轮设置在所述空间中， 通过在转动所述第一、第二和第三小齿轮的同时相对所述第一齿条沿 伸长方向移动所述第二齿条，沿伸长方向伸长所述承载装置。

根据本发明的运输设备，在其操作中，首先，通过行进装置在安 装在天花板上或其附近的轨道部上行进，运输设备运送运输物体。运 输装置具有：主体装置，其以悬挂的形式安装在行进装置上；承载装 置，其能从主体装置向轨道部的一侧伸长并能承载或安装运输物体； 以及伸长机构，其用于沿伸长方向伸长承载装置。由此可能承载并运 送设置在轨道部横向侧上的运输物体。顺便提及，在此的“沿伸长方 向向侧向伸长”的表述典型地、但非限制性地指水平方向。只要从轨 道部向横向侧偏离，则可以是倾斜向下或倾斜向上伸长。也就是说， 承载装置可以通过典型的水平伸长进行横向运送，或者可以在无规则 的倾斜伸长时进行横向运送。而且，在无伸长时承载装置还可以承载 或安装运输物体。

特别是在这里，如果上述横向运送待进行时，设置在第一和第二 齿条之间的空间中的第一、第二和第三小齿轮转动。此时，第一和第 二小齿轮之间的第三小齿轮的数目典型地为奇数个，如一个或三个。 这样，第一至第三小齿轮的转动意味着啮合第二小齿轮的第二齿条相 对啮合第一小齿轮的第一齿条沿伸长方向移动。换言之，典型地第一 和第二齿条在互相保持平行关系的同时，沿伸长方向改变相对位置。 接着，具有固定的第二齿条的承载装置相对具有固定的第一齿条的主 体装置沿伸长方向伸长。