[发明专利]工业用机器人和集合处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及工业用机器人和集合处理装置，尤其涉及例如在半导体制造装 置等集合处理装置内能缩短工件的搬运时间等的工业用机器人和具有该工业 用机器人的集合处理装置。

背景技术

在半导体器件的制造系统中，使用着在制造半导体器件用的系统中装入了 工件搬运机器人的系统。这样的制造系统具有在减压环境下进行处理的多个处 理舱。另外，设置在过渡舱内的工件搬运机器人相对于多个处理舱中的规定处 理舱进行半导体晶片的放入取出(以下也称为搬入/搬出)动作。此时，若每 当向各处理舱搬入/搬出半导体晶片就将处理舱内恢复为平常的压力，则再次 对处理舱内减压并开始处理需要较多的时间，导致生产能力下降，因此近年来 的制造系统一般采用把包含将半导体晶片向各处理舱搬入/搬出的工件搬运机 器人在内的过渡舱空间作为预备减压室(真空过渡舱(日文：ロ一ドロツク室)) 的制造系统。利用这样的制造系统，则不用将处理舱内恢复为平常压力就可搬 入/搬出半导体晶片，因而可提高生产能力，提高搬运效率。

作为在这样的制造系统中使用的工件搬运机器人，为了提高搬运效率和缩 短动作时间而提出了各种搬运机器人。

例如，对专利文献1的图16用图中的符号进行说明，提出了成对的两个 轮毂部件50a、50b彼此朝相反的方向旋转、一方的机器人连杆机构B2进行突 出动作、另一方的机器人连杆机构B1进行缩回动作的运送用机器人A2。该运 送用机器人A2通过一方的机器人连杆机构B2的突出动作，搬运台8a、8b从 过渡舱经由门6进入处理舱内，将载放在搬运台8a、8b上的工件交给处理舱， 或从处理舱内接收工件。另外，通过缩回动作，搬运台8a、8b从处理舱返回 过渡舱侧。

但是，上述运送用机器人A2由连杆机构构成，两个搬运台8a、8b无法分 别进行独立的动作。而且轮毂部件50a、50b上下布置，而两个搬运台8a、8b 也上下配置，因此当利用一方的搬运台8a将处理舱内的工件搬出后再利用另 一方的搬运台8b将另一工件搬入时，必须使运送用机器人A2沿上下方向移动， 使搬运台8b的上下方向的座标位置与处理舱的座标位置对齐。

另外，例如，对专利文献1的图3用图中的符号进行说明，提出了相对于 旋转中心分别可旋转地设有两个相同长度的机臂7a、7b的蛙腿式的双臂式运 送用机器人A1。在该机器人A1中，相同形状的两个搬运台8a、8b位于旋转中 心的两侧，相同长度的两个连杆9a、9b的一端与各搬运台8a、8b的基部连接。 这两个连杆9a、9b的一端通过蛙腿式的搬运台姿势限制机构与搬运台8a、8b 连接，两个连杆9a、9b相对于各搬运台8a、8b朝完全对称的方向旋转。与各 搬运台8a、8b连接的两个连杆中的一方的连杆与一方的机臂7a连接，另一方 的连杆与另一方的机臂7b连接。

该运送用机器人A1所具有的各搬运台8a、8b其上下方向的座标位置相同， 因此，当利用一方的搬运台8a将处理舱内的工件搬出后再利用另一方的搬运 台8b将另一工件搬入时，不必使运送用机器人A1沿上下方向移动。但是，由 于使各搬运台8a、8b动作的机臂7a、7b由连杆9a、9b连接，因此成为无法 使各机臂独立动作的结构。

另外，例如，对专利文献2的图2和图4A用图中的符号进行说明，提出 了具有可动机臂组件18、两个基板架22、23、以及同轴驱动轴组件20的基板 移送装置12。在该基板移送装置12中，可动机臂组件18具有大致X字形的同 轴驱动轴组件20，基板架22、23与X字形部件28的不同对的机臂部30、31、 32、33连接，同轴驱动轴组件20通过在伸长位置与收缩位置之间反转一起运 动，使基板架22、23的机臂部30、31、32、33移动。

但是，该基板移送装置12与上述专利文献1中的图16记载的运送用机器 人A2相同，由连杆机构构成，因而两个基板架22、23无法分别进行独立的动 作。而且基板架22、23上下配置，因此，例如当利用一方的基板架23将处理 舱内的工件搬出后再利用另一方的基板架22将另一工件搬入时，必须使同轴 驱动轴组件20整体沿上下方向移动，使基板架22、23的上下方向的座标位置 与处理舱的座标位置对齐。

专利文献1：日本专利特开平11-207666号公报

专利文献2：日本专利特表平11-514303号公报