[发明专利]平板显示器制造设备的起模针模块

说明书

本申请是于2006年5月9日向国家知识产权局提交的名称为“平板显示器制造设备的起模针模块”的第200610079818.2号专利申请的分案申请。

技术领域

本发明是关于平板显示器制造设备的起模针模块，当基板被送入或送出时，上述起模针模块上升到送入或送出上述基板的高度。

背景技术

一般性的平板显示器制造设备，是用来将平板显示器的基板送入内部，利用等离子体等实施蚀刻等处理。这里所说的平板显示器(Flat Panel Display)指的是液晶显示器(Liquid Crystal Display)、等离子体显示板(Plasma Display Panel)、有机发光二极管(OrganicLight Emitting Diodes)等，在这些平板显示器制造设备中，真空处理用设备一般由负荷固定舱(Load lock)、输送舱及处理舱等三个真空舱组成。

其中，上述负荷固定舱是在轮流转换气压状态和真空状态下形成，其作用是，从外部接收未处理的基板，或者向外部送出已处理完的基板。上述输送舱有一搬运机械手，在各个舱室之间搬运基板，其作用是，将需要处理的基板从负荷固定舱送到处理舱，或者将已处理完的基板从处理舱送到负荷固定舱。上述处理舱的作用是，在真空状态下利用等离子体或热能，在基板上形成薄膜或进行蚀刻。

原有的平板显示器制造设备如图1所示，其内部由以下几个部分组成：轮流维持真空状态和气压状态的同时，与外部进行接触，在内部进行工艺处理的舱室10；位于上述舱室10上部的上部电极12；与上述上部电极12隔离，位于下部并承载基板S的下部电极14。

上述上部电极12的最底端有一喷水头(Shower head)，把工艺气体喷到基板S上。

上述下部电极14被位于外壁和上部边缘的绝缘板(未图示)所包围，从而保护该下部电极14免受等离子体的影响，然后利用几个螺栓分别固定上部边缘和侧面及下面。

在上述舱室10的指定部分装配排气装置(未图示)，以清除已用于基板S处理的工艺气体及其副产物等。当然，为使舱室10内部处于真空状态，有时候该排气装置被用来排放舱室10内部的气体。

其中，如图2所示，为了支撑装入上述下部电极14的基板S边缘，在上述下部电极14的边缘装配了形成一定间隔的几个起模针(Lift pin：20)，该起模针可以通过朝厚度方向穿过下部电极14形成的几个起模针孔16。该起模针20的作用是，通过起模针孔16上升及下降，将基板S抬起，或者将送入舱室10内部的基板S装入下部电极14。

换言之，上述起模针20的作用是，当基板S被搬运装置从舱室10外部送入舱室时，将该基板S抬至一定高度，待搬运装置退出舱室10后，将该基板S放到下部电极14上。

此时，一个下部电极14上有几个上述起模针20，但是这几个起模针20应该同时上升或下降。于是，在上述下部电极14的外部底侧装配了与几个起模针20相结合的起模针板30，该起模针板30通过其他驱动装置(未图示)上升，也就是说，几个起模针20通过该驱动装置同时上升。

接着，上述几个起模针20穿过舱室10下壁，延伸到该舱室10的底侧，而固定在每个起模针20下部的起模针板30，位于舱室10底侧的外部。

这些起模针20是这样升降的：驱动装置对起模针板30施加上升压力，促使固定在该起模针板30上的起模针20升降。

其中，从上述起模针20朝舱室10底侧裸露的部分，也就是说，在上述舱室10的底面和起模针板30之间裸露的起模针20，被风箱(Bellows：32)所包围。

这些风箱32的作用是，在几个起模针20上升时收缩，当该起模针20下降时松弛，以保持舱室10内部的真空状态。

可是，如果上述起模针20在位于下部电极14的起模针孔16内部升降时，根据该起模针孔16的直径引起以下各种问题：如果上述起模针孔16的直径大，将会发生上述起模针20所在位置的温度和下部电极14周边温度的温差及电压差，促使与上述起模针孔16相应的基板S底面产生一种亮度不均匀的污点(Mura)。相反，如果上述起模针孔16的直径小，那么，通过起模针孔16升降的起模针20和该起模针孔16之间发生磨擦，从而产生颗粒(Particle)。在上述起模针板30上定位的起模针20，若适用于大面积基板S，应配备几个起模针，而且其中心位置要分别对准起模针孔16，所以组装难度非常高。