[发明专利]平板显示器制造设备的起模针模块

权利要求书

1.一种基板处理装置，包括：

下部电极，基板置于其上；以及

支撑置于所述下部电极上的所述基板的起模针模块，其中所述起模针模块包括：

上部起模针，其穿过形成于所述下部电极上的起模针孔上下运动以支撑所述基板；

下部起模针，与所述上部起模针的下端相耦合，并具有形成于所述下部起模针的上端的容纳槽；以及

针耦合器，所述针耦合器上端形成有孔，其中，所述上部起模针的下端插入所述针耦合器的所述孔中，且所述针耦合器还具有插入突出物，该插入突出物位于该针耦合器的下端并且插入所述容纳槽内，

其中，所述插入突出物小于所述容纳槽，使得所述插入突出物能够在所述容纳槽中沿水平方向移动。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述容纳槽和所述插入突出物呈椭圆形。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其中所述起模针模块还包括针耦合器固定件，所述固定件与所述下部起模针的上端相耦合，并防止所述插入突出物与所述容纳槽相分离，所述针耦合器固定件具有穿孔，所述上部起模针的下端插入该穿孔。

4.根据权利要求1或2所述的装置，还包括腔室，所述下部电极安装于该腔室内，其中所述起模针模块还包括一个位于所述腔室下壁下方的板，所述板与所述腔室的下壁间隔开，一个连接至所述腔室下壁的上法兰，一个连接至所述下部起模针下端和所述板的下法兰，以及一个连接所述上法兰与下法兰的风箱。